[发明专利]多线切割机及工作方法

说明书

技术领域

本发明涉及晶片切割技术领域，尤其是一种多线切割机及工作方法。

背景技术

多线切割机主要以机械结构为主，主要由切割室、收放线室、基台、砂浆缸、配电室、气压仓等部分组成；如图1所示，拉线张力控制采用磁粉离合器，张力调节使用带减速的交流电机，还配有庞大的齿轮减速箱和链条齿轮传输机结构，工作台驱动依靠砝码配重，电控只要是继电器和时间继电器。

多线切割机切割晶片的优点有：弯曲度（bow）小，翘曲度（Warp）小，平行度(Tarp)好，总厚度公差(TTV)小，片间切割损耗少，成品晶片表面损伤层浅，粗糙度小，切片加工出片率高，生产效率高等一系列优点。因此，应用多线切割机是发展规模化生产和提高生产效率的必然选择。

发明内容

本发明针对现有技术的不足，提出一种多线切割机，效率高，结构巧妙。

为了实现上述发明目的，本发明提供以下技术方案：一种多线切割机，包括切割室和设在切割室两侧的砂浆喷管，该砂浆喷管设有三个，一个设在切割室的出线侧，两个设在切割室的入线侧。

进一步地，入线侧的两个所述砂浆喷管为并排设置。

进一步地，入线侧的两个所述砂浆喷管为沿线运动方向前后并排设置。

进一步地，所述砂浆喷管均为倾斜向下设置。

进一步地，所述砂浆喷管均朝向切割室。

一种如上所述多线切割机的工作方法，包括以下过程：根据钢线和碳化硅与悬浮液的综合技术参数，核算出其切削指数；提升工作台速，结合砂浆流量与线速，利用线性方程和微积分方程算出最佳匹配参数。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：在传统设备上增设入线侧的砂浆喷管，就能降低因杂质等进入喷管堵塞喷嘴出现砂浆断流的几率；提高钢线带砂的物理效应；符合工艺改进提升效率的要求。本发明工艺结合砂浆喷管的改造，提高其砂的利用率；降低成本；提高切割效率。

附图说明

图1为现有多线切割机的结构示意图；

图2为本发明多线切割机的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。

如图2所示的一种多线切割机，包括切割室1和设在切割室1两侧的砂浆喷管，该砂浆喷管设有三个，一个砂浆喷管3设在切割室的出线侧，两个砂浆喷管2设在切割室的入线侧。

入线侧的两个砂浆喷管2为并排设置，较优的设置方式是将这两个砂浆喷管2是沿线的运动方向前后并排设置，如图2所示；这样确保入线端砂浆量非常充足，相应在切割时效率会更高。

切割室1两侧的砂浆喷管都为倾斜向下设置，并且均朝向切割室1，使得喷浆效果好。

本发明的原理为：太阳能硅片的线切割机机理就是机器导轮在高速运转中带动钢线，从而由钢线将聚乙二醇和碳化硅微粉混合的砂浆送到切割区，在钢线的高速运转中与压在线网上的工件连续发生摩擦完成切割的过程。

图2中所示的为PV800多线切割机，原有砂浆流喷管如图1所示，砂浆由切割室1上方砂浆系统管道，流入两侧砂浆喷管，然后经喷管的窄喷嘴流到线网上，从而被钢线带入工件内发生摩擦进行切割。其中喷管的作用就是：控制砂浆流量与方向并将砂浆均匀的流向线网。其改造前，砂浆喷管如图1。改造后的砂浆喷管如图2所示。二者相比较，在工件的入线端测，添加一只喷管，即：入线测为双喷管结构，出线端为单喷管结构。

采用本发明多线切割机，在工艺上，根据钢线和SiC与悬浮液的综合技术参数，核算出其切削指数。然后据此，提升工作台速，结合砂浆流量与线速等，利用线性方程、微积分方程等算出几种量的最佳匹配参数。从而实际试切找到现场不良控制点。做一定微调即可实现。

如PV800多线切割机，其控制系统采用西门子高端元器件，其控制系统相对较精细，其软件部分也相应更加优化，张力系统上明显优于其他大多种类的线切机。在辅料各项技术参数不变的条件下，通过改造砂浆喷管与工艺进一步改进，从而达到提升切割效率的目的。

相对于图1所示切割机的工艺，本发明工艺结合砂浆喷管的改造，提高其砂的利用率；降低成本；提高切割效率。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。