[发明专利]基于高密度电极阵列的高空间分辨超声探测器有效

专利信息
申请号: 201410535088.7 申请日: 2014-10-11
公开(公告)号: CN104274212A 公开(公告)日: 2015-01-14
发明(设计)人: 孙向明;许怒;吴轲娜 申请(专利权)人: 华中师范大学
主分类号: A61B8/13 分类号: A61B8/13;A61B8/00
代理公司: 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 代理人: 胡建平;杨晓燕
地址: 430079 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 基于 高密度 电极 阵列 空间 分辨 超声 探测器
【权利要求书】:

1.基于高密度电极阵列的高空间分辨超声探测器,其特征在于,包括匹配层(1),阵列结构压电材料薄片(2),绝缘胶层(3),硅像素芯片(4),芯片bonding电路板(5);所述阵列结构压电材料薄片(2)由单面电极及阵列结构的压电材料小单元构成,匹配层(1)粘附在单面电极上,单面电极接地,阵列结构的压电材料小单元通过绝缘胶层(3)与硅像素芯片(4)粘接,硅像素芯片(4)固定安装在芯片bonding电路板(5)上。

2.根据权利要求1所述的基于高密度电极阵列的高空间分辨超声探测器,其特征在于,所述硅像素芯片(4)采用像素阵列结构,阵列结构压电材料薄片(2)的压电材料小单元蚀刻成紧实的阵列结构、与硅像素芯片(4)的像素阵列一一对应。

3.根据权利要求1所述的基于高密度电极阵列的高空间分辨超声探测器,其特征在于,所述硅像素芯片(4)由基于CMOS集成电路的像素阵列构成,像素尺寸小于200μm,每个像素都包含顶层金属,硅像素芯片(4)用于根据阵列结构压电材料薄片(2)上的电信号,产生感应电荷信号,感应电荷信号在像素内转换成模拟信号或数字信号读出。

4.根据权利要求1或2所述的基于高密度电极阵列的高空间分辨超声探测器,其特征在于,所述阵列结构压电材料薄片(2)与硅像素芯片(4)之间采用压电材料与电极阵列相配合的结构。

5.根据权利要求1所述的基于高密度电极阵列的高空间分辨超声探测器,其特征在于,所述芯片bonding电路板(5)包括3.3V电压转换电路、5.0V电压转换电路、模拟输出电压驱动电路、数模转换器、数字信号处理电路和MCX适配器;所述3.3V电压转换电路分别与数字信号处理电路、硅像素芯片(4)、数模转换器连接;所述数字信号处理电路与硅像素芯片(4)连接;所述数模转换器与硅像素芯片(4)连接;所述5.0V电压转换电路与模拟输出电压驱动电路连接;硅像素芯片(4)的模拟输出端经模拟输出电压驱动电路与MCX适配器连接。

6.根据权利要求5所述的基于高密度电极阵列的高空间分辨超声探测器,其特征在于,所述3.3V电压转换电路、5.0V电压转换电路分别采用LM1117-3.3芯片、LM1117-5.0芯片,所述模拟输出电压驱动电路采用THS4281芯片,所述数模转换器采用DAC8568芯片,所述数字信号处理电路采用SN65LVDT14芯片。

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