[发明专利]双通道离子源喷头

权利要求书

1.一种双通道离子源喷头，其特征在于，包括：

外套(2)，具有中心贯通孔，所述外套包括外套头部和外套尾部，所述外套尾部的侧端具有与所述中心贯通孔相连通的侧端螺纹孔；

放电针(1)，具有放电针头部和放电针尾部，所述放电针头部从所述外套尾部穿入，所述放电针尾部在所述外套头部伸出；

电极(4)，其前端与所述放电针相贴合；

高压导线(6)，其一端与所述电极相连接，通过所述电极将高压加在放电针上；

进气管(7)，所述进气管插入到所述外套的侧端螺纹孔内。

2.根据权利要求1所述的双通道离子源喷头，其特征在于，还包括放电针螺头(3)，其前端螺头拧入所述外套的尾部螺孔内，所述放电针尾部套进所述放电针螺头里，并对所述放电针密封及固定。

3.根据权利要求2所述的双通道离子源喷头，其特征在于，还包括电极螺头(5)，所述电极设置在所述电极螺头的内孔中，所述高压导线穿入所述电极螺头的内孔并与所述电极相贴合，所述电极螺头从所述放电针螺头的后端拧入，所述电极贴在所述放电针尾部的端面上。

4.根据权利要求1所述的双通道离子源喷头，其特征在于，所述高压导线的一端置入所述电极的内孔中并与所述电极相焊接。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的双通道离子源喷头，其特征在于，所述外套为锥形结构，所述外套头部具有锥尖，所述外套尾部粗大呈扁平状；所述外套还包括外套中部，所述外套中部连接所述外套头部和所述外套尾部，所述外套中部呈圆柱形，所述外套中部的外圆柱面上刻有便于在安装时观察喷头的位置的轴向的线性刻度。

6.根据权利要求5所述的双通道离子源喷头，其特征在于，所述中心贯通孔的孔径大于所述放电针的外径，两者间隙为高纯度氮气N2的通道。

7.根据权利要求5所述的双通道离子源喷头，其特征在于，所述放电针的结构呈两段式，包括头段和尾段，所述尾段的直径大于所述头段的直径。

8.根据权利要求5所述的双通道离子源喷头，其特征在于，所述放电针的结构呈两段式，包括头段和尾段，所述尾段的长度大于所述头段的长度。

9.根据权利要求5所述的双通道离子源喷头，其特征在于，所述电极安装在所述放电针尾部。

10.根据权利要求5所述的双通道离子源喷头，其特征在于：所述放电针头部为圆锥形形状。