[发明专利]龙门式设备和控制方法

权利要求书

1.一种龙门式设备，其特征在于，所述龙门式设备包括：

支撑装置，用于承载基底；

龙门架本体和龙门架连接装置，所述龙门架本体通过龙门架连接装置设于所述支撑装置上；

扫描振镜，置于所述龙门架本体上；

光源，用于向所述扫描振镜发射光束，扫描振镜驱动所述光束按照预定轨迹扫描；

第三传感单元，置于所述支撑装置上，所述光束经过扫描振镜照射至第三传感单元上形成光斑，第三传感单元测量所述光斑大小和光强；

第一传感单元，置于所述龙门架本体上，用于测量基底上目标点高度和第三传感单元的表面高度，根据所述光斑大小和光强以及第三传感单元的表面高度，确定所述扫描振镜的最佳焦点位置；

第二传感单元，置于所述龙门架本体上，用于测量扫描振镜的最佳焦点与龙门架本体的相对高度；

垂向执行器，位于所述扫描振镜与龙门架本体之间，用于支撑所述扫描振镜垂向移动，从而将扫描振镜的最佳焦点调节到所述基底上目标点。

2.如权利要求1所述的龙门式设备，其特征在于，所述龙门架连接装置包括龙门架导轨。

3.如权利要求2所述的龙门式设备，其特征在于，所述龙门架本体包括第一横梁和第二横梁，所述第一横梁和第二横梁相互垂直，且均位于水平方向上并承载所述扫描振镜沿所述龙门架导轨进行水平方向移动。

4.如权利要求1所述的龙门式设备，其特征在于，所述第三传感单元为轮廓仪。

5.如权利要求4所述的龙门式设备，其特征在于，所述第一传感单元为色差传感器、位移传感器或调焦调平传感器。

6.如权利要求4所述的龙门式设备，其特征在于，所述第二传感单元为光栅尺、线性可变差动变压器或干涉仪。

7.如权利要求1所述的龙门式设备，其特征在于，所述支撑装置包括工件台、大理石、减震器和地基，所述基底放置在工件台上，所述工件台置于大理石上，所述大理石通过减震器与地基连接。

8.如权利要求1所述的龙门式设备，其特征在于，所述光源为激光器，所述龙门式设备用于玻璃基底的激光封装，所述基底包括上玻璃基底和下玻璃基底，所述第一传感单元测量的基底表面高度为所述上玻璃基底的下表面高度。

9.如权利要求1所述的龙门式设备，其特征在于，所述龙门式设备用于曝光装置，所述第一传感单元测量的基底表面高度为基底上表面高度。

10.一种龙门式设备的控制方法，应用于如权利要求1至9任一项所述的龙门式设备，其特征在于，所述龙门式设备的控制方法为通过逐场测量逐场调焦的方法将扫描振镜的最佳焦点调节到目标点，包括以下步骤：

1)所述光源发射的光束经过扫描振镜照射至第三传感单元上，所述第一传感单元测量第三传感单元上表面高度Z_BF；

2)所述垂向执行器调节所述扫描振镜的垂向位置，使得所述第三传感单元上的光斑最小光强最强，所述第二传感单元测量所述扫描振镜与龙门架本体的相对高度Z_galBFref，确定扫描振镜的最佳焦点位置；

3)所述第一传感单元测量基底表面上目标点高度Z_mes；

4)计算将扫描振镜最佳焦点调整到目标点的第二传感单元的高度设定值Z_s：

Z_s＝Z_galBFref+(Z_mes-Z_BF)；

5)根据所述高度设定值将扫描振镜的最佳焦点移动到所述的目标点。