[发明专利]电声转换器

权利要求书

1.一种电声转换器，包括多个元件，其中所述多个元件中的每个包括多个单元，所述多个单元中的至少一个单元包括形成在膜中的沟槽，其中所述沟槽的高度小于所述膜的高度，其中对于所述多个元件中的每个，所述多个单元中的每个包括设置在所述膜的上表面上的电极，所述电极覆盖所述沟槽的内壁。

2.根据权利要求1所述的电声转换器，其中所述多个元件中的每个具有第一频带，所述第一频带比构成相应元件的所述多个单元中的每个的相应频带宽。

3.根据权利要求1所述的电声转换器，其中对于所述多个元件中的每个，所述多个单元中的包括所述沟槽的所述至少一个单元的频率特性基于所述沟槽的数量、形状、尺寸和位置当中的至少一种而改变。

4.根据权利要求1所述的电声转换器，其中对于所述多个元件中的每个，所述多个单元中的至少两个单元包括不同数量的沟槽。

5.根据权利要求1所述的电声转换器，其中对于所述多个元件中的每个，所述沟槽的平面形状包括圆形和多边形当中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的电声转换器，其中对于所述多个元件中的每个，所述沟槽的截面形状包括矩形、三角形和半圆形当中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的电声转换器，其中对于所述多个元件中的每个，所述膜包括硅。

8.根据权利要求1所述的电声转换器，其中所述多个元件布置成二维布置，所述多个单元布置成二维布置。

9.根据权利要求1所述的电声转换器，其中对于所述多个元件中的每个，所述多个单元中的每个具有相同的尺寸。

10.根据权利要求1所述的电声转换器，其中所述多个单元中的每个还包括：

衬底；

支撑件，设置在所述衬底上并且包括腔；以及

所述膜，配置为覆盖所述腔。

11.一种电声转换器的元件，所述元件包括：

多个单元，包括第一单元和第二单元，

其中所述第一单元和所述第二单元具有相同的尺寸，以及

其中所述第一单元的频率特性不同于所述第二单元的频率特性，

其中所述第一单元和所述第二单元当中的至少一个包括形成在膜中的沟槽，所述沟槽的高度小于所述膜的高度，

其中所述多个单元中的每个包括设置在所述膜的上表面上的电极，所述电极覆盖所述沟槽的内壁。

12.根据权利要求11所述的元件，其中所述沟槽形成在相应的膜的上表面和下表面当中的至少一个中。

13.根据权利要求12所述的元件，其中包括所述沟槽的所述第一单元和所述第二单元当中的所述至少一个的频率特性基于所述沟槽的数量、形状、尺寸和位置当中的至少一种而改变。

14.根据权利要求12所述的元件，其中所述第一单元和所述第二单元包括不同数量的沟槽。

15.根据权利要求12所述的元件，其中所述沟槽的平面形状包括圆形和多边形当中的至少一种。

16.根据权利要求12所述的元件，其中所述沟槽的截面形状包括矩形、三角形和半圆形当中的至少一种。

17.根据权利要求12所述的元件，其中所述膜包括硅。

18.根据权利要求11所述的元件，其中所述元件具有第一频带，所述第一频带比构成所述元件的所述多个单元中的每个的相应频带宽。