[发明专利]阀设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种配备有隔片(diaphragm)的阀设备，隔片打开和闭合在第一端口和第二端口之间建立连通并且液体流经的流体通道。

背景技术

迄今为止，一种配备有本体的阀设备已经被广泛地使用，在本体中形成有流体通道和隔片，该流体通道在第一端口和第二端口之间建立连通并且液体流经该流体通道，该隔片通过远离或者座设在本体内形成的阀座上而打开和闭合该流体通道。在这类阀设备中，例如，如果腐蚀流体(例如臭氧或者超纯水)被用作为压力流体，那么隔片和本体分别由耐腐蚀性的氟树脂构成。

尽管如此，如果本体和隔片都是由这样一种非导电材料的氟树脂构成的，由于隔片和阀座之间的摩擦或者隔片和压力流体之间的摩擦会产生静电。此外，当静电累积在隔片中时，会发生可能导致隔片损坏的绝缘击穿(火花放电)。

因此，包括用于防止隔片的绝缘击穿的机构的阀设备已经被提出。例如在日本专利No.4705490中，公开了这样的技术构思：在配备有隔片保持器的隔膜阀(diaphragm valve)中，该隔片保持器具有用于保持隔片的外边缘的非导电的第一弹性构件和经由导电片状物附接到第一弹性构件下侧的第二弹性构件，产生在隔片保持器附近的静电通过该导电片状物被引出到接地线。

进一步，例如在日本专利No.4461087中，公开了这样的技术构思：抗腐蚀性的导电构件布置在通孔中，该通孔贯穿流体通道在隔片的膜部附近(外边缘)的一侧，并且设置有O形环以实现导电构件和构成通孔的壁表面之间的密封，其中，产生在隔片中的静电经由导电构件被引出到接地线。

更进一步，在日本特开专利申请No.2010—121689中，公开了这样的技术构思：螺旋状导电膜形成在隔片的不接触到压力流体的一侧，和在隔片中产生的静电经由该导电膜被引出到接地。

发明内容

然而，利用传统技术，例如上述日本专利No.4705490，因为第一弹性构件和第二弹性构件都与压力流体保持接触，可用的压力流体限于不引起第一弹性构件和第二弹性构件腐蚀的无腐蚀性压力流体。进一步，因为导电片状物被夹在第一弹性构件和第二弹性构件之间，会有一种可能：压力流体会从第一弹性构件和导电片状物之间的间隙以及第二弹性构件和导电片状物之间的间隙中泄漏，同时隔片保持部的结构是复杂的，导致了生产成本的上升。进一步，因为当隔片弹性变形(弯曲)时易于受到负载的隔片的外边缘被夹在中间并且由第一弹性构件支撑，所以存在隔片保持部的耐用性问题。

利用日本专利No.4461087的传统技术，因为导电构件布置在隔片外边缘在上形成的通孔中，为了可靠地抑制隔片的绝缘击穿，所以必须沿着隔片的周向设置多个导电构件。然而，在这种情况下，因为组成导电构件和O形环的零件的数目增加，生产成本趋于上升。

利用日本特开专利申请No.2010—121689的传统技术，隔片中产生的静电被吸引到导电膜上，并且被导出到地。然而因为导电膜形成在隔片的不接触到压力流体的一侧，产生在压力流体流经的液体流动路径内的静电不能被引导到导电膜，因此，所以存在隔片的绝缘击穿不能被可靠地抑制的问题。

考虑上述问题的同时，本发明被设计，同时本发明的目的是提供一种阀设备，其中，能够利用简单结构可靠地抑制隔片的绝缘击穿，并且能够实现降低制造成本。

根据本发明阀设备包括：本体，该本体包括流体通道，该流体通道在第一端口和第二端口之间建立连通，并且压力流体流经该流体通道；隔片，该隔片可位移地布置在本体的内部，并且通过与阀座分离和通过座设在阀座上而打开和闭合流体通道；导电轴，该导电轴布置在通孔中，通孔实质上形成在隔片的中心；和接地构件，该接地构件被构造成使导电轴接地；其中，本体和隔片中的每一个都由非导电材料形成，导电轴的一端表面暴露于流体通道。

根据本发明阀设备，产生在隔片中的静电通过布置在实质上形成在隔片中心的通孔中的导电轴被导出到接地构件，因此隔片中的静电累积被抑制。因此，能够利用简单结构可靠地抑制隔片的绝缘击穿，并且能够实现降低制造成本。

在上述阀设备中，导电轴可以包括：小直径部，该小直径部布置在通孔中；和大直径部，该大直径部布置在小直径部的另一端；并且其中，环形密封突起形成在隔片的另一表面上，环形密封突起接触大直径部的一个表面并且形成大直径部和隔片之间的密封。

利用这样结构，因为形成隔片和大直径部之间的密封的环形密封突起形成在隔片的另一表面，所以能够抑制压力流体从流体通道泄漏。