[发明专利]一种用于棱镜定心调整机构

说明书

本发明公开一种用于棱镜定心调整机构，包括：固定该棱镜的棱镜支架；固定该棱镜及棱镜支架的支撑架；连接杆，用于柔性连接该棱镜支架与该支撑架；驱动机构，该驱动机构位于该支撑架的一端；柔性传动机构，该柔性传动机构与该驱动机构和该支撑架连接，用于传递该驱动机构的力以使该棱镜支架带动该棱镜沿一旋转轴旋转。

技术领域

本发明涉及一种集成电路装备制造领域，尤其涉及一种用于棱镜定心调整机构。

背景技术

先进光刻机曝光设备中的投影光学系统需要越来越小的波相差和畸变，同时在这种投影光学系统的曝光设备中，可以实时并容易地对由各种环境及其它因素导致的相差和畸变的变化进行补偿。为了解决这一类问题，一般采用设置一个或几个镜片位置可调的方式进行补偿。在折反式物镜中，棱镜作为关键的光学元件经常使用，用于光路的反射同时需要棱镜绕中心旋转进行像质的补偿，所以需要设计一种棱镜定位，并可以绕棱镜设计中心旋转机构十分必要。

发明内容

为了克服现有技术中存在的缺陷，使棱镜沿中心旋转，本发明提供一种用于棱镜定心调整机构。

为了实现上述发明目的，本发明公开一种用于棱镜定心调整机构，包括：固定该棱镜的棱镜支架；固定该棱镜及棱镜支架的支撑架；连接杆，用于柔性连接该棱镜支架与该支撑架；驱动机构，该驱动机构位于该支撑架的一端；柔性传动机构，该柔性传动机构与该驱动机构和该支撑架连接，用于传递该驱动机构的力以使该棱镜支架带动该棱镜沿一旋转轴旋转。

更进一步地，该连接杆包括第一本体、第二本体，以及连接第一本体及第二本体的柔性部件，该第一本体、第二本体分别与该棱镜支架及支撑架连接。

更进一步地，该棱镜与该棱镜支架胶结。

更进一步地，该柔性传动机构包括一驱动柔性连杆、一传动柔性连杆、一旋转柔性连杆，该传动柔性连杆固定于一传动柔性连杆固定座上，该旋转柔性连杆固定于一旋转柔性连杆固定座上。

更进一步地，该驱动柔性连杆一端通过一柔性铰链与该棱镜支架连接，另一端通过一柔性铰链与该传动柔性连杆固定座连接。

更进一步地，该驱动机构包括一驱动元件和一驱动元件固定架，该驱动元件固定架固定于该驱动柔性连杆上。

更进一步地，该传动柔性连杆固定座与该支撑架固定。

更进一步地，该驱动机构还包括一回复弹簧，该回复弹簧一端连接该驱动元件固定架，另一端连接该支撑架。

与现有技术相比较，本发明采用多连杆机构，使机构的旋转中心与光学元件的理论旋转中心重合，消除由于机械旋转中心与光学元件旋转中心不重合带来的系统误差，同时不影响棱镜的工作区域，本发明机构简单，旋转过程中不会引入机构间隙带来的系统误差，同时本装置调整可靠，加工简单，装配方便。

附图说明

关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。

图1是本发明所涉及的棱镜定心调整机构的分解图;

图2是本发明所涉及的棱镜定心调整机构的主视图;

图3是本发明所涉及的棱镜定心调整机构的左视图;

图4是本发明所涉及的棱镜定心调整机构的右视图;

图5是本发明所涉及的棱镜定心调整机构的俯视图;

图6是本发明所涉及的棱镜定心调整机构的仰视图;

图7是本发明所涉及的棱镜定心调整机构的调整原理示意图;

图8是本发明所涉及的棱镜定心调整机构的驱动柔性连杆的结构示意图;

图9是棱镜组件与棱镜组件支撑架连接杆的结构示意图；