[发明专利]光学量测装置及方法

权利要求书

1.一种光学量测装置，其包括：

一光源模块，提供一第一光线以及一第二光线；

一感测单元；

一参考镜组，其包括一致动器以及一参考镜，所述致动器以一扫描速度带动所述参考镜往复移动；

一光耦合模块，将所述第一光线传递至所述参考镜组以及一待测物；以及

一处理单元；

其中，所述光源模块传递所述第一光线至所述光耦合模块，所述光耦合模块将部份所述第一光线传递至所述待测物、部份所述第一光线传递至所述参考镜组，所述第一光线被所述待测物的表面反射后依序传递至所述光耦合模块及所述处理单元，所述第一光线被所述参考镜组反射后依序传递至所述光耦合模块及所述处理单元，

其中，所述光源模块传递所述第二光线至所述待测物，所述第二光线被所述待测物的表面反射后传递至所述感测单元，据此所述感测单元传递一感测信号给所述处理单元，所述处理单元依据所述感测信号提供一相对速度值，依据所述相对速度值与所述参考镜组的所述扫描速度，计算所述厚度。

2.如权利要求1所述的光学量测装置，其中所述厚度由所述扫描速度与所述相对速度值相加后除以所述待测物折射率的积分所产生。

3.如权利要求2所述的光学量测装置，其中所述处理单元利用以下的公式计算所述厚度L：

L=∫0TVr+Vsndt]]>

其中，V_r是所述扫描速度，V_S为所述相对速度值，n为所述待测物折射率。

4.如权利要求1所述的光学量测装置，其中所述处理单元利用以下的公式计算所述厚度L：

L=∫0TVrn*{1+((1+β1-β)-1)/n}dtβ=n*VsVr]]>

其中，V_r是所述扫描速度，V_S为所述相对速度值，n为所述待测物折射率。

5.如权利要求1所述的光学量测装置，其中于一第一时序，被所述待测物反射的所述第一光线与被所述参考镜组反射的所述第一光线产生建设性干涉，据此所述处理单元提供一第一光程差，于一第二时序，所述待测物反射的所述第一光线与被所述参考镜组反射的所述第一光线产生建设性干涉，据此所述处理单元提供一第二光程差，依据所述第一与所述第二光程差，所述处理单元得以计算所述第一时序与所述第二时序的时间差。