[发明专利]气体过滤方法有效
| 申请号： | 201410374698.3 | 申请日： | 2014-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN104190180A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 雷通;桑宁波 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01D47/02 | 分类号： | B01D47/02;C23C16/26 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 过滤 方法 | ||
1.一种气体过滤方法，应用于PECVD工艺中，其特征在于，包括如下步骤：
步骤S1：提供一气体存储装置，所述气体存储装置内储存有包括乙炔气体和杂质的混合气体，通过所述气体存储装置外设的一气阀将所述混合气体输送至一过滤系统；
步骤S2：利用所述过滤系统对所述混合气体进行过滤，滤去所述杂质，并将乙炔气体输送至一干燥系统；
步骤S3：利用所述干燥系统对乙炔气体进行干燥处理后输送至一反应腔，并进行PECVD工艺。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述杂质为丙酮。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述过滤系统包括一密闭的腔室，所述腔室内装有去离子水，将所述混合气体通入去离子水进行过滤，以滤去所述杂质。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述过滤系统还设置有一加热装置，通过所述加热装置使所述去离子水保持恒温；
且所述去离子水温度为45℃～55℃。
5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述过滤系统设置有进水口和出水口，通过所述进水口和所述出水口使所述去离子水循环流动。
6.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述干燥系统包括有冷凝管和干燥器，所述冷凝管的一端通过管路连接所述腔室的顶部，且该冷凝管的另一端连接所述干燥器；
通过所述冷凝管对乙炔气体进行初步冷却并去除部分水汽，之后通过所述干燥器继续进行冷却处理。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述干燥器为低温干燥器或固碱干燥器。
8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，将经过所述干燥系统处理后的乙炔气体输送至所述反应腔之前，先通过一质量流量控制器对气体流量进行调整。
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