[发明专利]一种复合缓蚀剂在审

专利信息
申请号: 201410372418.5 申请日: 2014-07-31
公开(公告)号: CN104195561A 公开(公告)日: 2014-12-10
发明(设计)人: 李松 申请(专利权)人: 青岛华承天机械制造有限公司
主分类号: C23F11/00 分类号: C23F11/00
代理公司: 代理人:
地址: 266000 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 复合 缓蚀剂
【权利要求书】:

1.一种复合缓蚀剂,其特征在于:由以下重量份数的原料制成:

咪唑啉1-3份,曼尼希碱1.5-3份,脱氢抗坏血酸0.3-0.8份,十二烷基苯磺酸钠1.2-2.9份,EDTA0.8-1.4份,乙醇0.9-1.6份,特丁基对苯二酚0.2-0.6份,椰油酰胺丙基甜菜碱1.1-2.4份。

2.根据权利要求1所述的复合缓蚀剂,其特征在于:由以下重量份数的原料制成:

咪唑啉2份,曼尼希碱2.6份,脱氢抗坏血酸0.5份,十二烷基苯磺酸钠2.1份,EDTA1.1份,乙醇1.3份,特丁基对苯二酚0.4份,椰油酰胺丙基甜菜碱1.7份。

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