[发明专利]一种光镜电镜关联成像用光学真空冷台

权利要求书

1.一种光镜电镜关联成像用光学真空冷台，其特征在于，它包括：

一真空腔室，

一设置在所述真空腔室的一端的防污染系统适配接口，

一设置在所述真空腔室的另一端的电镜样品杆适配接口，

一设置在所述真空腔室的上壁面的上光学窗口，

一设置在所述真空腔室的下壁面并与所述上光学窗口相对的下光学窗口，

一设置在所述真空腔室的一侧的真空系统适配接口，以及

一设置在所述电镜样品杆适配接口与所述上、下光学窗口之间的真空阀；

其中，所述真空阀与所述电镜样品杆适配接口之间构成了一预真空通道，在所述预真空通道的一侧设置有一预抽真空阀门；在所述电镜样品杆适配接口、上光学窗口、下光学窗口、真空系统适配接口和防污染系统适配接口处均设有真空密封圈。

2.如权利要求1所述的一种光镜电镜关联成像用光学真空冷台，其特征在于，还包括一防污染系统，所述防污染系统包括：

一通过所述防污染系统适配接口部分伸入所述真空腔室1的导热杆，

一连接在所述导热杆位于所述真空腔室内的一端的金属冷盒，

一连接在所述导热杆位于所述真空腔室外的一端的导热芯，以及

一杜瓦罐；

其中，所述金属冷盒与所述上、下光学窗口位置相对，所述金属冷盒的上、下表面相对设置有一对通光孔；所述杜瓦罐内部形成充装有液氮的液氮腔室，所述导热芯设置于所述液氮腔室内。

3.如权利要求2所述的一种光镜电镜关联成像用光学真空冷台，其特征在于，所述导热杆、金属冷盒和导热芯由紫铜或银制成。