[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，具有泵入口(10)、泵出口(12)、可绕旋转轴(14)旋转的转子(16)、至少一个工艺气体泵级、马达空间(18)和驱动马达(20)，工艺气体泵级用于将所述泵入口(10)处的工艺气体从所述泵入口(10)传输到所述泵出口(12)，所述驱动马达(20)设置在所述马达空间(18)中，所述驱动马达(20)用于转动地驱动转子(16)，所述驱动马达(20)包括马达定子(22)，其特征在于，提供至少一个用于工艺气体的气体路径，所述气体路径为从所述泵入口(10)到所述泵出口(12)，所述气体路径通过所述马达空间(18)，并且至少部分地沿所述马达定子(22)或通过所述马达定子(22)；

提供设置在所述马达定子(22)和所述转子(16)之间的中间空间(24)，所述气体路径通向所述中间空间(24)；其中所述工艺气体传导经过所述中间空间(24)，并且没有与所述转子(16)直接接触。

2.一种真空泵，具有泵入口(10)、泵出口(12)、可绕旋转轴(14)旋转的转子(16)、至少一个工艺气体泵级、马达空间(18)和驱动马达(20)，工艺气体泵级用于将所述泵入口(10)处的工艺气体从所述泵入口(10)传输到所述泵出口(12)，所述驱动马达(20)设置在所述马达空间(18)中，所述驱动马达(20)用于转动地驱动转子(16)，所述驱动马达(20)包括马达定子(22)，其特征在于，提供至少一个用于工艺气体的气体路径，所述气体路径为从所述泵入口(10)到所述泵出口(12)，所述气体路径通过所述马达空间(18)，并且至少部分地沿所述马达定子(22)或通过所述马达定子(22)；

提供设置在所述马达定子(22)和所述转子(16)之间的中间空间(24)，所述气体路径通向所述中间空间(24)；其中还提供多个所述气体路径，以及至少一个所述气体路径穿过所述中间空间(24)，至少一个所述气体路径通向所述中间空间(24)。

3.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，提供一个或者多个通道(32)，通过所述一个或者多个通道(32)，所述气体路径能够延伸经过所述中间空间(24)，所述一个或者多个通道(32)在它们的部分外围或者在它们的全部外围上被所述马达定子限定，至少一个通道(32)或者每个通道(32)被所述马达定子(22)的切口或者开口(36)限定。

4.如权利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述马达定子(22)具有芯(38)以及至少一个被所述芯(38)承载的线圈(42)，其中，所述芯(38)包括多个相互叠加的圆盘(40)，至少一个通道(32)或者每个通道(32)被所述圆盘(40)的切口或者开口限定。

5.如权利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述通道(32)被设置和/或布置，使得驱动马达(20)在相对于旋转轴(14)的总的旋转角上产生大致均匀的驱动扭矩。

6.如权利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述马达定子(22)上没有通道(32)分布的区间在径向上与至少一个通道(32)相对设置；和/或提供奇数个通道(32)，这些通道(32)均匀地分布在所述马达定子(22)的外围；和/或至少一个通道(32)至少面向它的部分长度，并且相对于所述驱动马达(20)的所述旋转轴(14)倾斜。

7.如权利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述马达定子(22)上没有通道(32)分布的区间在径向上与每个通道(32)相对设置；和/或提供奇数个通道(32)，这些通道(32)均匀地分布在所述马达定子(22)的外围；和/或每个通道(32)面向它的全部长度，并且相对于所述驱动马达(20)的所述旋转轴(14)倾斜。

8.如权利要求3所述的真空泵，其特征在于，提供至少一个密封件，用于流体密封所述中间空间(24)。

9.如权利要求3所述的真空泵，其特征在于，提供塞班泵级(44)，用于传输工艺气体进入所述马达空间(18)。