[发明专利]磁性轴承装置及真空泵

权利要求书

1.一种磁性轴承装置，其特征在于包括：

第一径向电磁铁，在第一径向方向上非接触支持旋转轴；

第二径向电磁铁，在第二径向方向上非接触支持所述旋转轴；

第一载波产生部，产生第一载波信号；

第二载波产生部，产生相对于所述第一载波信号相位存在π/2+θ弧度的差异的第二载波信号；

第一移位传感器，根据所述第一径向方向的旋转轴位置移位而调制所述第一载波信号，且输出第一调制信号；

第二移位传感器，根据所述第二径向方向的旋转轴位置移位而调制所述第二载波信号，且输出第二调制信号；

第一解调部，在从所述第一载波信号成为波峰的时点偏移相位θ后的取样时点，对所述第一调制信号进行取样并进行解调；

第二解调部，在从所述第二载波信号成为波峰的时点偏移相位-θ后的取样时点，对所述第二调制信号进行取样并进行解调；及

控制部，基于所述第一解调部及所述第二解调部的解调结果控制所述第一径向电磁铁及所述第二径向电磁铁的电流。

2.根据权利要求1所述的磁性轴承装置，其特征在于：

所述第一解调部以相对于所述第一载波信号的频率fc满足fc＝(m+1/2)×fs1的频率fs1进行取样，其中，m为0以上的整数，并将根据数据d11、及数据d12算出的值d13＝(d11-d12)/2作为解调结果而输出，所述数据d11是在从所述第一载波信号成为最大波峰的时点偏移相位θ后的时点对所述第一调制信号进行取样而获得，所述数据d12是在从所述第一载波信号成为最小波峰位置附近的时点偏移相位θ后的时点对所述第一调制信号进行取样而获得；且

所述第二解调部以相对于所述第二载波信号的频率fc满足fc＝(n+1/2)×fs2的频率fs2进行取样，其中，n为0以上的整数，并将根据数据d21、及数据d22算出的值d23＝(d21-d22)/2作为解调结果而输出，所述数据d21是在从所述第二载波信号成为最大波峰的时点偏移相位-θ后的时点对所述第二调制信号进行取样而获得，所述数据d22是在从所述第二载波信号成为最小波峰位置附近的时点偏移相位-θ后的时点对所述第二调制信号进行取样而获得。

3.一种磁性轴承装置，其特征在于包括：

第一径向电磁铁，在第一径向方向上非接触支持旋转轴；

第二径向电磁铁，在第二径向方向上非接触支持所述旋转轴；

第一激磁放大器，将第一电磁铁电流供给到所述第一径向电磁铁，所述第一电磁铁电流重叠着用来检测所述第一径向方向的旋转轴位置移位的第一载波信号；

第二激磁放大器，将第二电磁铁电流供给到所述第二径向电磁铁，所述第二电磁铁电流重叠着用来检测所述第二径向方向的旋转轴位置移位的第二载波信号；

第一电流传感器，检测所述第一电磁铁电流；

第二电流传感器，检测所述第二电磁铁电流；

第一解调部，对所述第一电流传感器的检测信号进行取样而提取旋转轴位置移位信息；

第二解调部，对所述第二电流传感器的检测信号进行取样而提取旋转轴位置移位信息；及

控制部，基于所述第一解调部及所述第二解调部的解调结果，控制所述第一激磁放大器及所述第二激磁放大器；且

所述第二载波信号相对于所述第一载波信号相位存在π/2+θ弧度的差异；

所述第一解调部在从所述第一载波信号成为波峰的时点偏移相位θ后的取样时点，对所述第一电流传感器的检测信号进行取样；

所述第二解调部在从所述第二载波信号成为波峰的时点偏移相位-θ后的取样时点，对所述第二电流传感器的检测信号进行取样。