[发明专利]一种用三氯化铁蚀刻不锈钢的蚀刻方法及设备

权利要求书

1.一种用三氯化铁蚀刻不锈钢的蚀刻方法，其特征在于所述蚀刻方法采用蚀刻机蚀刻，蚀刻机内的三氯化铁蚀刻溶液的ORP值650mv以上；蚀刻机在首次蚀刻前，计量需蚀刻不锈钢总量，并对蚀刻溶液要进行取样检测，检测出蚀刻液中二氯化铁、游离酸及三氯化铁的质量百分含量；首次蚀刻完成后，计量完成蚀刻后不锈钢总量，从而计算出不锈钢损失量，同时再次对蚀刻溶液要进行取样检测，检测出蚀刻液中二氯化铁、游离酸及三氯化铁的质量百分含量；根据不锈钢损失量与蚀刻液中二氯化铁、游离酸及三氯化铁的质量百分含量变化量，在主控模块中设定以后每一次蚀刻控制开启第一添加泵和第二添加泵开启的时间周期；第一添加泵开启时添加剂储液槽中的添加剂开始向蚀刻机中添加，第二添加泵开启时盐酸储液槽中的盐酸开始向蚀刻机中添加；电位检测器按预设时间周期对蚀刻机内的蚀刻溶液的ORP值进行检测监控。

2.根据权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于：所述蚀刻机内的蚀刻溶液的指标范围是：三氯化铁质量百分含量33%～43%、二氯化铁质量百分含量0.50%～5.0%、酸度（以HCL计）质量百分含量0.3%~2.00%，蚀刻溶液密度1.40～1.50，温度40℃～54℃。

3.根据权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于：当二氯化铁质量百分含量大于1.0%时，开始打开第一添加泵和第二添加泵；当二氯化铁质量百分含量小于0.5%关闭第一添加泵和第二添加泵。

4.根据权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于：添加剂储液槽中的添加剂为氯酸钠；盐酸储液槽中的中装有浓度≥30%的工业盐酸。

5.根据权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于：所述蚀刻溶液添加有消泡剂，所述消泡剂的含量为0.5~1g/L。

6.根据权利要求5所述的蚀刻方法，其特征在于：所述消泡剂为op-10.二甲基硅氧烷、正辛烷和硅氧烷二元醇中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于：电位检测器每间隔1小时对蚀刻机内的蚀刻溶液的ORP值进行一次检测监控。

8.实现权利要求1至7任一项所述蚀刻方法的蚀刻设备，其特征在于所述蚀刻设备包括有蚀刻机，其特征在于：蚀刻机中设有电位检测器；还包括有添加剂储液槽和盐酸储液槽；添加剂储液槽和盐酸储液槽分别经第一添加泵和第二添加泵与蚀刻机连接，电位检测器连接有主控模块，主控模块连接控制第一添加泵和第二添加泵。