[发明专利]柔性多层吸气器

说明书

本发明涉及柔性多层吸气器，尤其是提出一种柔性多层吸气器(100)，带有覆盖储气层(104)的透气层(102)。在一个实施例中，透气层(102)覆盖部分储气层(104)。在另一个实施例中，阻挡件(106)覆盖部分储气层(104)。阻挡件包括箔片基底、钝化层或透气层。

本申请是申请号为200680012634.2、申请日为2006年2月16日、发明名称为“柔性多层吸气器”的中国发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明的示范性实施例涉及用于吸附气体的吸气器，特别涉及复合材料吸气器。其他示范性实施例涉及用于生产该吸气器的方法。

背景技术

在许多技术先进的应用中，利用非蒸散型吸气(NEG)材料进行气体吸附。NEG材料被经常发现于两种应用中。在第一种应用中，NEG材料用于通过吸附不想要的物质来净化气流。例如，在半导体工业中，使用NEG材料将诸如氢、氧、氮、水、碳的氧化物和氮的氧化物的带来麻烦的物质从惰性气体流中去除。类似地，诸如电灯泡的充有特定气体的器件的制造过程中使用的气体被净化，以提供诸如提高灯丝寿命的优点。

在第二种应用中，NEG材料用于在密封围罩内保持高的真空度。处理室为半导体工业中的这种围罩的常见例子。这种围罩例如也可应用于绝热装置中，例如用于热水瓶、杜瓦瓶、微电子封装件以及在北极和海底区域中进行油的分离和输送的绝热管中。用于这些应用的密封围罩典型地包括内壁和外壁，在这两个壁之间具有抽真空的容积。对于油的分离和输送来说，必须频繁地使用绝热管，以防止流体的过度冷却。这种冷却可造成油中的较重组分固化，结果是增加了其总粘度，并潜在地可能造成堵塞。

NEG材料可包括金属，例如锆和钛以及基于这些金属的合金及其化合物。这种合金可包括例如从过渡金属和铝以及其氧化物中选出的一种或更多种其他元素。NEG材料已经成为多个专利的主题。美国专利US3,203,901描述了Zr-Al合金，并且特别描述了组分的重量百分比含量为Zr84％-Al16％的合金，其由SAES Getters S.p.A,Lainate,Italy以商标名St生产和销售。美国专利US4,071,335描述了Zr-Ni合金，并特别描述了组分的重量百分比含量为Zr75.7％-Ni24.3％的合金，其由SAES Getters S.p.A,Lainate,Italy以商标名St生产和销售。美国专利US4,306,887描述了Zr-Fe合金，并特别描述了组分的重量百分比含量为Zr76.6％-Fe23.4％的合金，其由SAES Getters S.p.A,Lainate,Italy以商标名St生产和销售。美国专利US4,312,669描述了Zr-V-Fe合金，并特别描述了组分的重量百分比含量为Zr70％-V24.6％-Fe5.4％的合金，其由SAES Getters S.p.A,Lainate,Italy以商标名St生产和销售。美国专利US4,668,424描述了Zr-Ni-A-M合金，其中，A表示一种或更多种稀土元素，M表示从钴、铜、铁、铝、锡、钛和硅中选出的一种或多种元素。美国专利US5,961,750描述了Zr-Co-A合金，其中，A是从钇、镧、稀土元素以及其混合物中选出的一种元素。该专利申请特别披露了组分的重量百分比含量为Zr80.8％-Co14.2％-A5％的合金，其由SAES Getters S.p.A,Lainate,Italy以商标名St生产和销售。

NEG材料对气体的吸附似乎发生在两个阶段中。第一阶段是将气态物质表面化学吸附到NEG材料的表面上，并通常伴随着该物质离解成其组成原子。在第二阶段中，组成原子扩散到NEG材料中。在氢吸附的情况下，随着氢原子扩散到材料内部，其首先形成固溶体，即使是在低温下。随着氢浓度的增大，形成氢化物，例如ZrH₂。即使在低温下，对氢的吸附能力也很高。