[发明专利]机械泵防反油阀装置

说明书

技术领域

本发明涉及真空设备技术领域，特别是一种能够应用于旋片泵、螺杆泵等机械泵中，涉及大面积平板玻璃镀膜真空泵组的机械泵防反油阀装置。

背景技术

已知高真空的获得需要多种不同真空泵组合在一起。单一泵无法获得1X10-7mbar或更高的真空。在大面积平板玻璃镀膜的应用中，靶材的辉光放电需要在通Ar气的环境下达到3X10-3mbar,而镀膜腔体在不通任何气体的情况下本体真空更是需要达到5X10-6mbar或者更低，这种情况下必须引进多级真空泵组才能获得高真空。

已知高真空泵组在运行时高真空泵与低真空泵之间必然会产生压力差，低真空泵进口压力小于出口压力导致泵腔内的油从进口反抽到腔体内。

已知大面积平板玻璃镀膜需要基片的绝对洁净才能使膜层与玻璃基片牢牢结合在一起。而油污是绝对要避免的，基片上的油污在镀膜后会明显的反映在镀膜玻璃上，导致玻璃脱膜，产生废品。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种机械泵防反油阀装置，使低真空机械泵应用于高真空泵组中避免因压力差导致的机械泵反油。

为解决上述技术问题，本发明是按如下方式实现的：

一种机械泵防反油阀装置，包括机械泵、进口腔、支撑机构、防反油阀、弹簧和进口管道；所述机械泵与所述进口管道之间通过所述进口腔连接，所述进口管道设置在所述进口腔的上方；所述支撑机构固定在所述进口腔内；所述防反油阀通过所述弹簧与所述支撑机构连接，所述防反油阀通过所述进口腔内压力差，在所述弹簧的作用下，在所述支撑机构上做往复运动，实现自动隔离泵腔与进口管道。

本发明的积极效果是：在类似活塞的防反油阀作用下，实现机械泵泵腔与进口管道的联通与隔离，解决机械泵应用于高真空泵组时容易出现的进口压力小于泵腔压力所导致的机械泵倒抽反油的现象。应用于真空镀膜领域可解决因油污污染基片导致的脱膜废品出现，提高产品成品率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对本发明描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是本发明的一个实施例中系统结构图。

其中，1、机械泵    2、进口腔  3、支撑机构

      4、防反油阀  5、弹簧    6、进口管道

图2是本发明的一个实施例中机械真空泵停止时防反油阀位置图。

图3是本发明的一个实施例中机械真空泵正常工作时防反油阀位置图。

图4是本发明的一个实施例中机械真空泵倒抽时防反油阀位置图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

如图1所示，本发明所述的一种机械泵防反油阀装置，包括机械泵1、进口腔2、支撑机构3、防反油阀4、弹簧5和进口管道6。

机械泵1与进口管道6之间通过进口腔2连接，是机械泵防反油阀装置实现功能连接口，进口管道6设置在进口腔2的上方。支撑机构3固定在进口腔2内，是支撑活塞往复运动的装置。防反油阀4通过弹簧5与支撑机构3连接，是整个装置的核心部分，防反油阀4通过进口腔内压力差，在弹簧5的作用下，在支撑机构3上做往复运动，实现自动隔离泵腔与进口管道6的作用。

工作原理：机械泵在停止的时候如图1所示，防反油阀在弹簧的作用力下停止在进口管道上，这有效的防止了泵在不工作时杂物进入泵腔内；当机械泵正常工作时如图2所示，机械泵正常运转泵内压强低于进口管道处压强，防反油阀在压力的作用下向下移动，此时泵腔与进口管道相通，实现正常工作抽气的目的；当机械泵处于高真空泵组中，并且高真空泵起动后如图3所示，进口管道内的压强低于泵腔内压强，防反油阀受力向上顶起使泵腔与进口管道隔离，达到防止泵内油被反抽至管道内。

本发明的积极效果：在多级泵组组成的真空系统中，能有效的防止因前后级真空所特有的压力差导致机械真空泵反油的现象，特别是当真空泵组应用于大面积平板镀膜玻璃设备这种对前级真空腔体与基片洁净度要求非常严格时候，有效的防止了工艺腔体因进油污染玻璃基片的情况，从而提高产品的成品率。

为了举例说明本发明的实现，描述了上述的具体实施方式。但是本发明的其他变化和修改，对于本领域技术人员是显而易见的，在本发明所公开的实质和基本原则范围内的任何修改/变化或者仿效变换都属于本发明的权利要求保护范围。