[发明专利]基于自清洁表面结构制造的六光束干涉系统

权利要求书

1.基于自清洁表面结构制造的六光束干涉系统，其特征是：系统包括装置外壳(3)；半反半透镜(8、11)；全反镜(9、10、12、13)；半反半透膜(镀在楔形板上表面)(14)；光学玻璃楔形板(15)；全反膜(镀在楔形板下表面)(17)；所述半反半透镜(8、11)和全反镜(9、10、12、13)固定在装置内部，并根据光路调整好角度固定，使得光通过全反镜(10、12、13)后可以以相同角度入射光进入楔形板(15)，所述光学玻璃楔形板(15)需三个大小形状完全相同，并固定在正三棱柱外壳(3)的三个内表面相同高度处，所述使用的使用光学玻璃楔形板(13)上表面需镀半反半透膜(14)，下表面需镀全反膜(17)，所述装置内部器件固定位置需符合光路，使激光从进光口(2)进入后，出射光线(4)可在装置外形成干涉焦点(5)。

2.根据权利要求1所述的基于自清洁表面结构制造的六光束干涉系统，其特征是：分光模块(一)包括(1)进光口、(8、11)半反半透镜；角度调节(二)包括(9、10、13)反射镜；等厚相干模块(三)包括楔形平板(15)；入射光线(4)需垂直入射进入装置，经过装置系统后射出，形成所需的六光束干涉；光学玻璃楔形平板(15)上表面镀有半反半透膜(14)，下表面镀有全反膜(17)，使入射到楔形板(15)的激光产生反射光和透射光的分光，最终可以达到分振幅干涉；由于楔形板(15)具有相同材料，相同大小和高度，在角度调节模块中已经调节相同入射光角度进入到楔形板(15)，从而可使楔形板(15)的出射光线(4)聚焦到一点(5)。

3.根据权利要求1所述的基于自清洁表面结构制造的六光束干涉系统，其特征是：可以进行微纳米级六光束干涉光刻的材料制作，其制作的微纳米级材料具有仿荷叶的自清洁结构，和超疏水的微纳结构，如图5、图6，从而可以使制造的材料达到自清洁的能力。

4.根据权利要求2所述的基于自清洁表面结构制造的六光束干涉系统，其特征是：入射光线(1)分别经过，分光模块(一)包括(1)进光口、(8、11)半反半透镜，角度调节(二)包括(9、10、13)反射镜，等厚相干模块(三)包括楔形平板(15)，出射光线(4)聚焦形成六光束干涉焦点(5)。