[发明专利]光学位移传感器

权利要求书

1.一种光学位移传感器，包括壳体(1)、激光器(2)、分光棱镜、物镜、成像镜和位移探测器，其特征在于，所述物镜的数量为两个：物镜一(5)和物镜二(6)，所述分光棱镜的数量为两个：分光棱镜一(3)和分光棱镜二(4)，所述成像镜的数量为两个：成像镜一(7)和成像镜二(8)，所述位移探测器的数量为两个：探测器一(9)和探测器二(10)，所述物镜一(5)、分光棱镜一(3)、分光棱镜二(4)、成像镜一(7)和探测器一(9)在壳体(1)内由右至左设置，所述激光器(2)位于分光棱镜一(3)上部且在两者之间具有固连在壳体(1)内的偏振片(20)，所述壳体(1)内还具有参考面(12)，上述的物镜二(6)固连在壳体(1)内且物镜二(6)位于参考面(12)与分光棱镜一(3)之间，所述分光棱镜一(3)与物镜一(5)之间以及分光棱镜一(3)与物镜二(6)之间均具有四分之一波片(13),所述探测器二(10)位于分光棱镜二(4)上部，上述成像镜二(8)位于探测器二(10)与分光棱镜二(4)之间。

2.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于，所述分光棱镜一(3)与分光棱镜二(4)之间的壳体(1)内固连有滤光片(14)。

3.根据权利要求2所述的光学位移传感器，其特征在于，所述偏振片(20)与壳体(1)之间具有当偏振片(20)摆动后能将其定位的定位机构。

4.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于，所述的壳体(1)内固连有连接架，上述参考面(12)和物镜一(5)均固连在连接架上，所述连接架的材料为锆钨酸盐(ZrW2O8)。

5.根据权利要求3所述的光学位移传感器，其特征在于，所述的偏振片(20)固连在调节板(15)上，上述的定位机构位于调节板(15)与壳体(1)内侧之间。

6.根据权利要求5所述的光学位移传感器，其特征在于，所述的定位机构包括转轴(16)、弹性件(17)、定位件(18)和定位条(19)，所述的定位条(19)固连在壳体(1)内，所述调节板(15)上具有凹入的定位孔(15a)，上述的弹性件(17)和定位件(18)均位于定位孔(15a)处且在弹性件(17)的弹力作用下定位件(18)部分伸出定位孔(15a)，所述的定位条(19)呈弧形且在定位条(19)上具有以转轴(16)为圆心弧形分布的若干定位凹口(19a)，所述的定位件(18)能嵌入上述任意一个定位凹口(19a)处。

7.根据权利要求6所述的光学位移传感器，其特征在于，所述的定位条(19)为塑料材料，所述定位条(19)通过胶水粘结在上述的壳体(1)内侧。

8.根据权利要求6所述的光学位移传感器，其特征在于，所述的弹性件(17)为螺旋弹簧，且弹性件(17)的两端分别作用在定位孔(18)底部和定位件(19)上。

9.根据权利要求6所述的光学位移传感器，其特征在于，所述定位件(19)为圆珠，所述定位孔(18)端口处具有呈环形凸出的挡沿(15a1)，所述挡沿(15a1)处形成的孔径略小于圆珠直径。

10.根据权利要求5所述的光学位移传感器，其特征在于，所述的定位机构包括转轴(16)、棘轮(21)、弹簧(23)和棘爪(22)，所述的转轴(16)固连在调节板(15)上，所述的棘轮(21)固连在转轴(16)上，所述的棘爪(22)铰接在壳体(1)内，上述的弹簧(23)位于棘爪(22)与壳体(1)之间且在弹簧(23)的弹力作用下棘爪(22)嵌于上述的棘轮(21)上。