[发明专利]一种用于片状基片上热色涂层材料的快速退火装置

权利要求书

1.一种用于片状基片上热色涂层材料的快速退火装置，包括工作腔，其特征是：所述工作腔包括内腔和外壁，内腔和外壁之间设有用于流动冷却剂的冷却夹层；所述内腔的内表面涂覆吸热涂层；所述内腔内设有能进行直线往复运动的传动机构；所述传动机构的上方设有若干支位于同一水平面的并列排布的热辐射灯管；还包括真空泵组；所述真空泵组与所述内腔相连通；所述工作腔上设有若干支位于同一水平面的并列排布的玻璃管，所述玻璃管穿过所述工作腔，与工作腔通过耐温胶圈密封连接；所述耐温胶圈上设有冷却保护装置；所述工作腔的两侧设有用于悬挂热辐射灯管的支架，所述支架包括支撑板和设置于支撑板上的支撑杆；所述热辐射灯管设在所述玻璃管内，通过所述支架悬挂安装；所述热辐射灯管距离基片上的热色涂层材料的垂直距离为5～100mm；所述热辐射灯管的两端设有用于防止灯管端头过热的冷却装置；灯管两端外露且悬挂在支撑板上的支撑杆上，在支撑板上还安装有气管，并在气管上预开若干个气孔；气管通气后，气流从气孔流出，对灯管的端头进行冷却。

2.根据权利要求1所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的快速退火装置，其特征是：所述工作腔上设有用于输送退火工艺气体的工艺布气管道；所述工艺布气管道与内腔相通。

3.根据权利要求1所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的快速退火装置，其特征是：所述工作腔的顶部设有用于平衡内腔与外界气压的放气阀。

4.根据权利要求1所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的快速退火装置，其特征是：所述工作腔上设有检测内腔真空度的真空计和检测内腔温度的温度检测仪；所述真空泵组与所述内腔之间设有用于调节内腔真空度的调节阀。

5.根据权利要求1所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的快速退火装置，其特征是：所述热辐射灯管背离基片的一侧涂覆有热反射涂层；所述热辐射灯管是红外辐射灯管或卤素辐射灯管或频闪加热灯管。

6.根据权利要求1所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的快速退火装置，其特征是：所述工作腔上设有前定位传感器和后定位传感器；所述前定位传感器和后定位传感器沿所述传动机构的传送方向安设，基片在前定位传感器和后定位传感器之间实现往复运动。

7.根据权利要求2所述的一种用于片状基片上热色涂层材料的快速退火装置，其特征是：所述工艺布气管道通入的工艺气体是由Ar、N₂、H₂、CO的一种或多种混合的工艺气体或O₂或O₂与Ar混合的工艺气体；退火作业时内腔的真空度范围为10^-2pa～10³pa。