[发明专利]一种双电源多晶硅铸锭工艺

权利要求书

1.一种双电源多晶硅铸锭工艺，其特征在于：包括装料填料、抽真空、熔化保温、长晶、退火和降温，其特征在于：所述熔化保温至退火过程中，采用双电源多晶硅铸锭炉，所述多晶硅铸锭炉的加热室顶部和侧面分别设有加热器，所述加热器分别电连接有变压器，其顶部热场变压器功率 P1 与侧面热场变压器功率 P2 的调节按照以下工艺进行 ：

（1）熔化保温 ：先采用功率控制模式，通过自适应系统分配功率 P1 ：P2=1 ：1，使得石英坩埚内温度达到多晶硅料的熔化温度，然后采用温度控制模式，通过自适应系统分配功率P1 ：P2=1 ：2 ～ 3.5，控制熔化温度不变进行保温，直至多晶硅料完全熔化 ；

（2）长晶 ：在长晶过程中，通过自适应系统分配功率 P1 ：P2=1 ：1 ～ 2.25 ；

（3）退火 ：在退火过程中，通过自适应系统分配功率 P1 ：P2=1 ：1 ～ 2.5。

2.   根据权利要求1所述的一种双电源多晶硅铸锭工艺，其特征在于：所述变压器通过电缆与自适应控制柜连接。

3.根据权利要求2所述的一种双电源多晶硅铸锭工艺，其特征在于：所述自适应控制柜内设有PLC控制件、电压表及电压控制器。

4.根据权利要求1所述的一种双电源多晶硅铸锭工艺，其特征在于：所述抽真空是将多晶硅料装入铸锭炉中的石英坩埚内，然后抽真空至 0.5 ～ 1.0Pa。