[发明专利]高压恒流泵和高压恒流送液方法无效
申请号: | 201410168669.1 | 申请日: | 2014-04-24 |
公开(公告)号: | CN104121177A | 公开(公告)日: | 2014-10-29 |
发明(设计)人: | 小野田有吾;秋枝大介;和田宏之;田上丰明;植田充彦;八木隆 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立高新技术 |
主分类号: | F04B49/22 | 分类号: | F04B49/22;F04B23/04;G01N30/32 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;郭凤麟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高压 恒流泵 恒流送液 方法 | ||
1.一种高压恒流泵,其特征在于,
具备:
第1泵,其吐出第1溶剂;
第2泵,其吐出第2溶剂;
混合器,其将由上述第1泵吐出的第1溶剂和由上述第2泵吐出的第2溶剂混合并送液;
第1压力传感器,其配置在上述第1泵与上述混合器之间的流路中,用于检测上述第1泵的第1溶剂的吐出压力;
第1止回阀,其配置在上述第1压力传感器与上述混合器之间的流路中;
第2压力传感器,其配置在上述第2泵与上述混合器之间的流路中,用于检测上述第2泵的第2溶剂的吐出压力;
第2止回阀,其配置在上述第2压力传感器与上述混合器之间的流路中;以及
控制部,其控制上述第1泵的第1溶剂的吐出量与上述第2泵的第2溶剂的吐出量,并改变上述混合器中第1溶剂与第2溶剂的混合比率,并且至少根据上述第1压力传感器的检测压力来判断上述第1止回阀是打开状态还是关闭状态,并在上述第1止回阀是关闭状态时,增加上述第1泵的吐出压力使上述第1止回阀为打开状态;并至少根据上述第2压力传感器的检测压力来判断上述第2止回阀是打开状态还是关闭状态,并在上述第2止回阀是关闭状态时,增加上述第2泵的吐出压力使上述第2止回阀为打开状态。
2.根据权利要求1所述的高压恒流泵,其特征在于,
具备:第3压力传感器,其配置在上述第1止回阀与上述混合器之间的流路中;以及第4压力传感器,其配置在上述第2止回阀与上述混合器之间的流路中,
上述控制部控制上述第1泵或上述第2泵的吐出压力,以使在上述第1泵和第2泵中吐出上述混合比率小的溶剂的泵中,上述第1压力传感器的检测压力值与上述第3压力传感器的检测压力值、或上述第2压力传感器的检测压力值与上述第4压力传感器的检测压力值为同一压力,或者以使上述第2压力传感器的检测压力值、上述第1压力传感器的检测压力值在预定范围内分别比上述第4压力传感器的检测压力值、上述第3压力传感器的检测压力值大。
3.根据权利要求2所述的高压恒流泵,其特征在于,
还具备显示部,
上述控制部判断上述第1压力传感器的检测压力值是否小于上述第3压力传感器的检测压力值,上述第2压力传感器的检测压力值是否小于上述第4压力传感器的检测压力值;
在上述第1压力传感器的检测压力值小于上述第3压力传感器的检测压力值的情况下,或者在上述第2压力传感器的检测压力值小于上述第4压力传感器的检测压力值的情况下,根据上述第1泵或第2泵的驱动量以及上述第1压力传感器或第2压力传感器检测出的压力值的上升值,来判断第1溶剂或第2溶剂是否从上述第1泵或第2泵泄漏,在判断为泄漏的情况下,在上述显示部中显示溶剂泄漏。
4.根据权利要求3所述的高压恒流泵,其特征在于,
上述控制部在判断为第1溶剂或第2溶剂未从上述第1泵或第2泵泄漏的情况下,根据上述第1泵或第2泵的驱动量以及上述第1压力传感器或第2压力传感器的检测值,来判别第1溶剂或第2溶剂的种类,并按照判别出的溶剂的种类来将驱动量追加至上述第1泵或第2泵。
5.根据权利要求1所述的高压恒流泵,其特征在于,
上述控制部求出上述第1压力传感器或上述第2压力传感器检测出的压力值与预先决定的基准送液压力之间的差,并按照将该求出的差乘以比例系数所得的值,来进行用于驱动上述第1泵和第2泵的比例控制,上述比例系数由从上述第1泵或上述第2泵送液的溶剂为预定混合比率以上的情况下的第1比例系数、不到上述预定的混合比率的情况下的第2比例系数构成,且上述第2比例系数大于上述第1比例系数。
6.一种高压恒流送液方法,其特征在于,
经由第1压力传感器和第1止回阀,将第1溶剂从第1泵吐出至混合器,
经由第2压力传感器和第2止回阀,将第2溶剂从第2泵吐出至上述混合器,
控制上述第1泵的第1溶剂的吐出量与上述第2泵的第2溶剂的吐出量,并改变上述混合器中的第1溶剂与第2溶剂的混合比率,
至少根据上述第1压力传感器的检测压力来判断上述第1止回阀是打开状态还是关闭状态,
在上述第1止回阀是关闭状态时,增加上述第1泵的吐出压力使上述第1止回阀为打开状态,
至少根据上述第2压力传感器的检测压力来判断上述第2止回阀是打开状态还是关闭状态,
在上述第2止回阀是关闭状态时,增加上述第2泵的吐出压力使上述第2止回阀为打开状态。
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