[发明专利]一种可变反射率镜

说明书

技术领域

本发明与光学反射镜相关，特别是基于光干涉原理的红外多层膜光学反射镜相关。 

技术背景

本发明涉及一种光学反射镜，尤其是红外光学反射镜。 

反射镜是对光进行反射的一种装置，红外反射镜是红外光进行反射的一种重要的光学元件，广泛应用于激光器、遥感、通信、分析仪器、激光加工等领域。一般情况下，红外反射镜对特定波长的反射率通常是一定的。在实际应用中有时需要改变反射率时，一般的办法就是更换反射镜，或者在反射镜前增加衰减装置调节反射率，这不但使装置复杂化，增加了操作的难度，同时也非常不便。本发明设计了一种红外光反射率可以调节的反射镜，其反射率可以通过对反射镜温度的调节而调节，非常方便实用。 

发明内容

本发明的目的是提供一种对红外光反射率可调节的反射镜。其膜系结构为Substrate/M(HL)^ⁿ/Air，其中Substrate代表玻璃衬底1，M代表导电膜层2，H代表光学厚度为λ₀/4的VO₂膜层3，L代表光学厚度为λ₀/4的SiO₂膜层4，n代表周期数，n具体数值根据实际需要设定，Air代表空气，λ₀代表工作波长，λ₀具体数值根据实际需要设定。其具体结构如附图1所示，具体实施步骤如下： 

1.在抛光的基底1上沉积一层导电膜层2，以作为加热层 

2.再在加热层2表面沉积一层光学厚度为λ₀/4的VO₂薄膜3，以作为相变层 

3.然后在相变层3上沉积一层光学厚度为λ₀/4的SiO₂薄膜4，以作为低折射率层 

4.如此反复，VO₂相变层3和SiO₂低折射率层4共镀制n个周期 

由于VO₂具有热致相变特性，随着温度的变化，其红外波段折射率发生明显变化，根据光学薄膜理论，其反射率和反射带宽也将发生变化。本反射镜是一种红外可变反射率镜。 

本发明具有以下技术效果： 

1.对红外光反射率可以通过给导电层通电流加热改变反射率； 

2.该反射镜工作波长范围很大，可根据实际需要设定波长； 

3.该反射镜性能稳定性好。 

附图说明

图1为本发明的膜系结构示意图 

图2为本发明实施例中三个不同温度下的反射率曲线 

具体实施方式

在抛光的K9玻璃基底1上沉积一层导电膜层2，以作为加热层，再在加热层2表面沉积一层光学厚度为λ₀/4的VO₂薄膜3，以作为相变层，然后在相变层3上沉积一层光学厚度为λ₀4的SiO₂薄膜4，以作为低折射率层，如此反复，VO₂相变层3和SiO₂低折射率层4共镀制4个周期，其中λ₀为1550nm。给导电层2通以不同大小的电流，测得3个不同温度T1、T2、T3下的光谱反射率曲线见附图2。