[发明专利]压印方法、压印装置和制造物品的方法

说明书

本发明提供了一种压印方法，包括：变形步骤，所述变形步骤将模具的图案表面变形以使模具从图案表面的中心部向外逐渐地跟压印材料相接触；获取步骤，所述获取步骤获取偏移量，所述偏移量指示模具上的标记由于图案表面的变形而沿平行于基板表面的方向偏移了多少；检测步骤，所述检测步骤在图案表面变形时检测模具上的标记和基板上的标记，并根据检测结果获取模具和基板的相对位置；以及对准步骤，所述对准步骤在图案表面变形时利用所述偏移量和相对位置对准模具和基板。以及一种压印装置和制造物品的方法。

技术领域

本发明涉及一种压印方法、一种压印装置和一种制造物品的方法。

背景技术

将形成在模具上的图案转印到基板上的压印技术作为光刻技术的一种而吸引关注。在使用这种压印技术的压印装置中，包括其上形成有微细凹凸图案的图案表面的模具跟输送到基板上的压印材料(树脂)相接触。在模具和树脂彼此接触时，如果在图案的凹部中留有气泡，那么转印到基板上的图案可能会出现损失。为了解决该问题，日本专利公开特许公报JP2009-536591描述的压印装置通过将图案表面变形为向基板弯曲的凸起形状并且使模具跟树脂相接触而抑制图案的凹部中存留的气泡。

另一方面，压印装置还需要将模具的图案准确地转印至形成在基板上的目标区域。为了实现这一点，日本专利特许公报JP4185941提出了一种在将模具的图案转印至目标区域时使用印模逐一对准方法(die-by-die alignment method)作为对准方法的压印装置。印模逐一对准方法是一种光学地检测形成在基板上的每一个目标区域中的标记和形成在模具上的标记，由此校正基板和模具之间相对位置偏移的对准方法。

当形成在模具上的整个图案跟基板上的树脂形成接触时，图案表面(凸起形状)的变形会变小。如果模具和基板在此状态下对准，那就会产生剪切应力，由此使得难以改变模具和基板的相对位置。执行对准要耗费相当长的时间。因此，在模具的整个图案跟树脂形成接触之前也就是在图案表面变形时需要对准模具和基板。但是，在模具的图案表面变形时，形成在模具上的标记的位置跟变形之前相比有所改变。因此难以准确地执行对准。

发明内容

本发明提供了一种有利于准确地对准模具和基板的技术。

根据本发明的一方面，提供了一种通过在具有其上形成有标记的图案表面的模具跟基板上的压印材料相接触的同时固化压印材料而将图案转印至基板上的压印材料的压印方法，所述方法包括：变形步骤，所述变形步骤通过向模具施加第一作用力将图案表面变形为向基板弯曲的凸起形状以使模具从图案表面的中心部向外逐渐地跟压印材料相接触；获取步骤，所述获取步骤获取偏移量，所述偏移量指示模具上的标记由于图案表面的变形而沿平行于基板表面的方向偏移了多少；检测步骤，所述检测步骤在图案表面变形的同时检测模具上的标记和基板上的标记，并根据检测结果获取模具和基板的相对位置；以及对准步骤，所述对准步骤在图案表面变形的同时利用所述偏移量和相对位置将模具和基板对准，以使得在图案表面的变形已经变小并且因此偏移量也已经变小时模具上的标记和基板上的标记彼此对准。

根据本发明的一方面，提供了一种用于通过在具有其上形成有标记的图案表面的模具跟压印材料相接触的同时固化压印材料而将图案转印至基板上的压印材料的压印装置，所述压印装置包括：变形单元，所述变形单元被构造用于通过向模具施加第一作用力将图案表面变形为向基板弯曲的凸起形状以使模具从图案表面的中心部向外逐渐地跟压印材料相接触；获取单元，所述获取单元被构造用于获取偏移量，所述偏移量指示模具上的标记由于图案表面的变形而沿平行于基板表面的方向偏移了多少；检测单元，所述检测单元被构造用于在图案表面变形的同时检测模具上的标记和基板上的标记，并根据检测结果获取模具和基板的相对位置；以及控制单元，所述控制单元被构造用于在图案表面变形的同时利用所述偏移量和相对位置控制模具和基板之间的对准，以使得在图案表面的变形已经变小并且因此偏移量也已经变小时模具上的标记和基板上的标记彼此对准。