[发明专利]等离子体放电装置

权利要求书

1.等离子体放电装置，其特征在于设有交流电源、水槽、等离子体发生器、交流电源调节电路、地电极耦合电路和气源；

所述水槽内注入水，等离子体发生器浸在水槽内的水中，等离子体发生器设有腔体、高压电极和地电极，腔体内设有两侧密封板和固定支架，两侧密封板内分别装有高压电极和地电极，交流电源调节电路的两端分别与高压电极和交流电源的正电极连接，地电极与地电极耦合电路的地相连，高压电极设在密封管内并从密封管引出，固定支架设在两侧密封板之间，等离子体发生器的下方设有进气口，等离子体发生器的上方设有出气口，进气口与气源相连。

2.如权利要求1所述等离子体放电装置，其特征在于所述密封板采用陶瓷密封板、刚玉密封板、石英密封板、聚四氟乙烯密封板中的一种。

3.如权利要求1或2所述等离子体放电装置，其特征在于所述密封板的长度为10～15cm，宽度为8～12cm，厚度为2～10mm。

4.如权利要求1所述等离子体放电装置，其特征在于两侧密封板之间保持平行等距，距离为2～5mm。

5.如权利要求1所述等离子体放电装置，其特征在于所述密封管采用胶皮软管。

6.如权利要求1所述等离子体放电装置，其特征在于所述绝缘管采用陶瓷绝缘管、刚玉绝缘管、石英绝缘管、聚四氟乙烯绝缘管中的一种。

7.如权利要求1或6所述等离子体放电装置，其特征在于所述绝缘管的内径为2.5～3.5mm，外径为4～5mm，长度为8～12cm。

8.如权利要求1所述等离子体放电装置，其特征在于所述高压电极采用铜电极、银电极、钨电极中的一种，高压电极的直径为2～3mm，长度为10～15cm。

9.如权利要求1所述等离子体放电装置，其特征在于所述固定支架采用玻璃支架、陶瓷支架、刚玉支架、石英支架中的一种。

10.如权利要求1所述等离子体放电装置，其特征在于所述固定支架的壁厚为2～3mm。