[发明专利]一种双端固支石英梁谐振式真空度传感器

权利要求书

1.一种双端固支石英梁谐振式真空度传感器，包括底座（6），底座（6）和外管壳（1）连接在一起，外管壳（1）内腔和底座（6）接触的凹槽内配置有O型橡胶密封圈（4），外管壳（1）顶部的压力孔与待测压力相通，其特征在于：底座（6）顶端的凹槽内连接有玻璃基底（3）和两根电极柱（5），电极柱（5）穿过底座（6）伸出外管壳（1）外，玻璃基底（3）用环氧树脂（10）粘接在底座（6）顶端的凹槽内，玻璃基底（3）的上方配置有石英梁（2），石英梁（2）由两端的第一基座（2-1）、第二基座（2-2）和中间的梁（2-5）连接构成，玻璃基底（3）的顶部设有第一凸台（3-1）、第二凸台（3-2），底部设有凹槽（3-3），第一基座（2-1）底面用焊料（9）固定在第一凸台（3-1）上，第二基座底面（2-2）用焊料（9）固定在第二凸台（3-2）上，第一基座（2-1）正面沉积有第一压焊块（2-3），第二基座（2-2）正面沉积有第二压焊块（2-4），第一压焊块（2-3）通过超声热压键合用金丝（8）与第一电极柱（5-1）连接，第二压焊块（2-4）通过超声热压键合用金丝（8）与第二电极柱（5-2）连接。

2.根据权利要求1所述的一种双端固支石英梁谐振式真空度传感器，其特征在于：所述的第一凸台（3-1）、第二凸台（3-2）是通过玻璃湿法腐蚀形成，深度为50～200μm。