[发明专利]一种光学系统像质补偿装置

权利要求书

1.一种光学系统像质补偿装置，包括变形镜和多个微动机构，其特征在于：所述多个微动机构通过改变所述变形镜的局部面型，实现光学系统像质的补偿，所述变形镜与微动机构胶结固定，所述微动机构固定在镜座上；所述微动机构包括柔性件、驱动器及运动件；运动件与柔性件连接，并可绕其转动；驱动器推动运动件旋转，使柔性件上下运动；

所述微动机构还包括板簧、传感器、固定块、定位销、光杆、支柱及锁紧螺钉；板簧固定在柔性件上，通过锁紧螺钉可以调整板簧的预紧力，改变柔性件可动部分输出刚度；运动件通过定位销与柔性件连接，并可以绕其转动，光杆和支柱分别装配到运动件上，固定块固定于柔性件固定部分，传感器固定于柔性件可动部分，驱动器推到运动件绕定位销旋转，从而使得光杆上下移动，从而推到柔性件可动部分上下运动，并通过传感器测量其与固定块被测面的距离变化，实现对变形镜的面型的改变。

2.如权利要求1所述的光学系统像质补偿装置，其特征在于，还包括微动机构控制单元、主控制系统和波前传感器，所述主控制系统通过所述多个微动机构控制单元使所述变形镜发生变形，通过所述波前传感器测量所述变形镜表面发生的形变。

3.如权利要求1所述的光学系统像质补偿装置，其特征在于，所述变形镜是透镜或反射镜，镜片形状是平面镜或凹凸镜。

4.一种光学系统像质补偿装置，包括微动镜和多个微动机构，其特征在于：所述多个微动机构通过调整所述微动镜位置，实现光学系统像质的补偿；所述微动镜与微动机构胶结固定，所述微动机构固定在镜座上；所述微动机构包括柔性件、驱动器及运动件；运动件与柔性件连接，并可绕其转动；驱动器推动运动件旋转，使柔性件上下运动；

所述微动机构还包括板簧、传感器、固定块、定位销、光杆、支柱及锁紧螺钉；板簧固定在柔性件上，通过锁紧螺钉可以调整板簧的预紧力，改变柔性件可动部分输出刚度；运动件通过定位销与柔性件连接，并可以绕其转动，光杆和支柱分别装配到运动件上，固定块固定于柔性件固定部分，传感器固定于柔性件可动部分，驱动器推到运动件绕定位销旋转，从而使得光杆上下移动，从而推到柔性件可动部分上下运动，并通过传感器测量其与固定块被测面的距离变化，实现对微动镜的位置的改变。

5.如权利要求4所述的光学系统像质补偿装置，其特征在于，所述微动镜的位置包括所述微动镜Z向或θX(绕X轴旋转方向)、θY(绕Y轴旋转方向)方向的位置。

6.如权利要求4所述的光学系统像质补偿装置，其特征在于，还包括微动机构控制单元、主控制系统和波前传感器，所述主控制系统通过所述多个微动机构控制单元使所述微动镜在Z向或θX(绕X轴旋转方向)、θY(绕Y轴旋转方向)方向产生位移，通过所述波前传感器测量所述微动镜位置变化后的像质。

7.如权利要求4所述的光学系统像质补偿装置，其特征在于，所述微动镜是透镜或反射镜，镜片形状是平面镜或凹凸镜。