[发明专利]检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的装置和方法

权利要求书

1.一种用于检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的装置，所述机械臂用于在半导体基体上进行操作，所述机械臂和所述半导体基体被配置为彼此之间进行相对运动，所述装置包括：

输入端，所述输入端用于接收来自安装在所述机械臂上的传感器的输入信号；

检测器，所述检测器通过所述输入信号进行所述机械臂和所述半导体基体之间存在预定距离的检测；其中，

所述装置被配置为通过所述检测来确定是否存在位置偏移。

2.根据权利要求1所述的装置，所述装置被配置为通过获取与所述机械臂和所述半导体基体之间的相对运动的动作有关的运动信息，并且通过将所述运动信息与所预期的相对运动的动作信息进行比较来检测是否存在位置偏移，所述运动信息涉及所述机械臂和所述半导体基体之间从参考位置到所述预定距离的运动。

3.根据权利要求2所述的装置，所述装置被配置为当所述机械臂和所述半导体基体中的一者在所述机械臂和所述半导体基体之间产生相对运动以便所述机械臂在所述半导体基体上进行操作之前静止时，将所述机械臂和所述半导体基体中的所述一者的位置作为所述参考位置进行检测。

4.根据权利要求3所述的装置，所述装置被配置为当所述机械臂在其被移动以在所述半导体基体上进行操作之前静止时，检测所述参考位置。

5.根据权利要求4所述的装置，所述装置被配置为通过从安装在所述机械臂上的第二传感器接收的第二输入信号来检测所述参考位置。

6.根据权利要求2-5中任一项所述的装置，所述装置被配置为将计时信息作为所述运动信息进行获取，所述计时信息与所述机械臂从所述参考位置处移动至距所述半导体基体为所述预定距离处的时间有关。

7.根据权利要求2-6中任一项所述的装置，所述装置被配置为将距离信息作为所述运动信息进行获取，所述距离信息与所述机械臂从所述参考位置处移动至距所述半导体基体为所述预定距离处的行进距离有关。

8.根据前述任意一项权利要求所述的装置，所述装置被配置为将指示所述传感器与所述半导体基体的边缘对准的信号作为所述输入信号进行接收。

9.一种用于检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的方法，所述机械臂用于在半导体基体上进行操作，所述机械臂和所述半导体基体被配置为彼此之间进行相对运动，所述方法包括：

接收来自安装在所述机械臂上的传感器的输入信号；

通过所述输入信号进行所述机械臂和所述半导体基体之间存在预定距离的检测；

通过所述检测确定是否存在位置偏移。