[发明专利]一种6英寸铌酸锂晶片或钽酸锂晶片的生产工艺

权利要求书

1.一种6英寸铌酸锂晶片或钽酸锂晶片的生产工艺，其特征在于，其步骤如下：

A：6英寸铌酸锂或钽酸锂晶体用线剧切割成厚度0.6-1mm的晶片，用自动倒角机倒成C型边，放入腐蚀液中腐蚀8-10小时；

B：把晶片装入还原炉内，晶片和晶片采用还原纸通氮气加热到500---600°然后降温到室温，取出还原后的黑色或者茶色铌酸锂或钽酸锂晶片；

C：用双面研磨机加1000号绿碳硅砂研磨，设备转速15转/min,反向压力100MPa,根据光栅尺的读数研磨到厚度0.53-56mm取出晶片，用超声波清洗干净，再放入腐蚀液中腐蚀12-15小时；

D：粘片工艺：把双面研磨好的晶片用自动粘片机粘片，采用液体石蜡，加热到120-150度，粘片片压力为0.4Mpa,冷却时间为100-130秒；

E：研磨工艺：采用单面研磨机研磨，研磨压力：150g/cm²；砂浆组成：绿碳硅砂:纯水:悬浮剂＝70:20:4，流量15--20L/min，设备转速25转/min,根据光栅尺的读数研磨到厚度0.50-0.52mm取出晶片，用超声波清洗干净；

F：抛光工艺：先把抛光布用修正盘修整好，然后把用超声波清洗过的晶片放在抛光盘上进行抛光，抛光压力：200--300g/cm²  转速：35--40rpm，时间：40--45min，然后转入CMP抛光；

G：清洗工艺：把抛好的晶片放在自动取片机上加热到100-110度后分别取下晶片，然后放入去蜡水中把石蜡去除，然后放入刷洗机中清洗干净，最后转入风刀中烘干，然后装盒。