[发明专利]一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构

权利要求书

1.一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构，其特征在于，包括算法与时序发生电路（7）、高压驱动与数字电容采集电路（9）和电容模数转换电路（14）；

所述算法与时序发生电路（7）和所述高压驱动与数字电容采集电路（9）之间使用自定义协议通信，并通过VME总线技术规范中的P1连接器实现物理连接，所述高压驱动与数字电容采集电路（9）和电容模数转换电路（14）之间使用自定义协议通信，并通过低压差分数字信号传输线缆实现物理连接；

所述电路结构采用N-111.2A压电陶瓷驱动器（20）作为执行元件，采用D-E30.500电容传感器（19）作为反馈元件。

2.根据权利要求1所述的一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构，其特征在于，所述算法与时序发生电路（7）包括OMAP-L138主控芯片（1）、XC5VLX50T芯片（3）和高精度DA转换电路（5），所述OMAP-L138主控芯片（1）和XC5VLX50T芯片（3）之间通过异步总线（2）连接，所述XC5VLX50T芯片（3）和高精度DA转换电路（5）之间通过低压数字驱动信号传输链路（4）连接。

3.根据权利要求2所述的一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构，其特征在于所述高压驱动与数字电容采集电路（9）包括低压数字电容信号采集电路（10）和高压驱动放大器（11），高压驱动放大器（11）和高精度DA转换电路（5）之间通过低压模拟驱动信号传输链路（8）连接，低压数字电容信号采集电路（10）和XC5VLX50T芯片（3）之间通过低压数字电容信号传输链路（6）连接，高压驱动放大器（11）和N-111.2A压电陶瓷驱动器（20）之间通过高压模拟信号传输链路（13）连接。

4.根据权利要求3所述的一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构，其特征在于所述电容模数转换电路（14）包括模数转换与协议封装电路（15）和模拟电容信号采集电路（17）；模数转换与协议封装电路（15）和低压数字电容信号采集电路（10）之间通过低压数字差分信号传输链路（12）连接，模数转换与协议封装电路（15）和模拟电容信号采集电路（17）之间通过低压模拟电容信号传输链路（16）连接，模拟电容信号采集电路（17）和D-E30.500电容传感器（19）之间通过模拟电容信号传输链路（18）连接。

5.根据权利要求1或2所述的一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构，其特征在于所述OMAP-L138主控芯片（1）中，ARM926EJ-S核实现外部接口，C674x核实现模糊PID控制算法，采用Virtex-5系列FPGA XC5VLX50T作为时序发生器和接口控制器。