[发明专利]用太赫兹波获取样本信息的信息获取装置和信息获取方法

权利要求书

1.一种获取样本的信息的信息获取装置，包括：

照射单元，被配置为通过与样本接触的透射构件用太赫兹波照射样本的照射位置；

检测单元，被配置为检测由透射构件反射的太赫兹波和由样本反射的太赫兹波；

波形获取单元，被配置为通过使用检测单元的检测结果来获取由透射构件反射的太赫兹波的时间波形和由样本反射的太赫兹波的时间波形；及

信息获取单元，被配置为通过使用由透射构件反射的太赫兹波的时间波形、由样本反射的太赫兹波的时间波形、以及与透射构件在照射位置处的厚度相关的信息来获取样本的信息。

2.根据权利要求1所述的信息获取装置，其中，所述信息获取单元通过使用所述时间波形、与透射构件在照射位置处的厚度相关的信息和参考数据来获取所述样本的信息，所述参考数据是通过如下方式获得的：用太赫兹波照射透射构件或具有与透射构件的折射率大致相等的折射率的物质、并获取由透射构件或所述物质的前表面反射的太赫兹波的时间波形和由透射构件或所述物质的后表面反射的太赫兹波的时间波形。

3.根据权利要求1所述的信息获取装置，其中，由透射构件反射的太赫兹波是由透射构件的前表面反射的太赫兹波。

4.根据权利要求2所述的信息获取装置，其中，所述参考数据是通过如下方式获得的数据：用太赫兹波照射其中透射构件不与样本接触的区域，并获取由透射构件的前表面反射的太赫兹波的时间波形和由透射构件的后表面反射的太赫兹波的时间波形。

5.根据权利要求2所述的信息获取装置，其中，所述参考数据是通过如下方式获得的数据：获取在使透射构件与样本接触之前由透射构件或所述物质的前表面反射的太赫兹波的时间波形、以及在使透射构件与样本接触之前由透射构件或所述物质的后表面反射的太赫兹波的时间波形。

6.根据权利要求1所述的信息获取装置，其中，所述信息获取单元通过使用由透射构件反射的太赫兹波的时间波形和由样本反射的太赫兹波的时间波形来获取与透射构件在照射位置处的厚度相关的信息。

7.根据权利要求1所述的信息获取装置，还包括：

位置改变单元，被配置为改变太赫兹波的照射位置，

其中，针对由位置改变单元改变的每个照射位置，信息获取单元通过使用与透射构件在照射位置处的厚度相关的信息来获取样本的信息。

8.根据权利要求1所述的信息获取装置，其中，透射构件的厚度不均匀。

9.根据权利要求1所述的信息获取装置，其中，信息获取单元通过使用与透射构件在照射位置处的厚度相关的信息并校正因为透射构件的厚度不均匀而产生的误差，来获取样本的信息。

10.根据权利要求1所述的信息获取装置，其中，太赫兹波是脉冲波。

11.根据权利要求1所述的信息获取装置，其中，透射构件具有已知的折射率。

12.根据权利要求1所述的信息获取装置，

其中，照射单元包括被配置为产生太赫兹波的发生单元，并且

其中，信息获取装置还包括被配置为调整发生单元产生太赫兹波或检测单元检测太赫兹波的时间点的调整单元。

13.根据权利要求1所述的信息获取装置，其中，信息获取单元通过使用检测到由透射构件反射的太赫兹波的时间波形的时间与检测到由样本反射的太赫兹波的时间波形的时间之间的差作为与透射构件在照射位置处的厚度相关的信息，来获取样本的属性或形状的信息。

14.根据权利要求2所述的信息获取装置，其中，信息获取单元通过使用透射构件在照射位置处的厚度与通过使用所述参考数据而获取的透射构件的厚度之间的差作为与透射构件在照射位置处的厚度相关的信息，来获取样本的信息。

15.根据权利要求2所述的信息获取装置，其中，信息获取单元通过使用在由透射构件反射的太赫兹波与由样本反射的太赫兹波之间产生的相位差作为与透射构件在照射位置处的厚度相关的信息来获取样本的信息。

16.根据权利要求2所述的信息获取装置，其中，所述参考数据是包括以下中的至少一个的数据：由透射构件或所述物质的前表面反射的太赫兹波的时间波形、由透射构件或所述物质的后表面反射的太赫兹波的时间波形、通过使用这些时间波形而获取的频谱、以及透射构件或所述物质的厚度。