[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件具有：

基板，其包含第1区域和第2区域，所述第1区域包含进行厚度剪切振动的振动区域，所述第2区域的厚度比所述第1区域的厚度厚；以及

激励电极，其配置于所述振动区域的正面和背面，

所述第1区域包含：

第1外缘和第2外缘，所述第1外缘配置于所述厚度剪切振动的振动方向的一端，所述第2外缘配置于所述振动方向的另一端；以及

第3外缘和第4外缘，所述第3外缘配置于与所述振动方向交叉的方向的一端，所述第4外缘配置于所述交叉的方向的另一端，

所述第2区域包含：

第1厚壁部，其设置有固定于对象物的固定部，沿着所述第1外缘配置；

第2厚壁部，其沿着所述第2外缘配置；以及

第3厚壁部，其沿着所述第3外缘配置且与所述第1厚壁部和所述第2厚壁部连接，

所述基板的俯视时的外缘在连接所述第2厚壁部和所述第3厚壁部的连接部上，包含在俯视时相对于所述振动方向和与所述振动方向垂直的方向交叉的第1外缘部。

2.根据权利要求1所述的振动元件，其中，

所述第1外缘部是在俯视时相对于所述振动方向和所述垂直的方向倾斜的第1倾斜外缘部，

所述第1倾斜外缘部相对于所述振动方向的倾斜角为30°以上60°以下。

3.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述第2厚壁部沿着所述振动方向的长度为40μm以上100μm以下。

4.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述第2区域的厚度为50μm以上70μm以下。

5.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述第3厚壁部沿着与所述振动方向垂直的方向的长度为200μm以上。

6.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

在俯视时所述第2厚壁部的与所述第3厚壁部相反一侧的端部上，设置有相对于所述振动方向和与所述振动方向垂直的方向交叉的第2外缘部。

7.根据权利要求6所述的振动元件，其中，

所述第2外缘部是在俯视时相对于所述振动方向和所述垂直的方向倾斜的第2倾斜外缘部，

所述第2倾斜外缘部相对于所述振动方向的倾斜角为30°以上60°以下。

8.根据权利要求7所述的振动元件，其中，

所述第2倾斜外缘部被设置成跨过所述第1区域。

9.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述基板是如下的石英板：在石英晶轴即作为电气轴的X轴、作为机械轴的Y轴以及作为光学轴的Z轴中，将所述X轴作为旋转轴，将使所述Z轴以+Z侧向所述Y轴的-Y方向旋转的方式倾斜后的轴作为Z’轴，将使所述Y轴以+Y侧向所述Z轴的+Z方向旋转的方式倾斜后的轴作为Y’轴，将包含所述X轴和所述Z’轴的面作为主面，将沿着所述Y’轴的方向作为厚度方向。

10.一种振子，其特征在于，该振子包含：

权利要求1或2所述的振动元件；以及

收纳所述振动元件的封装。

11.一种振荡器，其特征在于，该振荡器具有：

权利要求1或2所述的振动元件；以及

驱动所述振动元件的振荡电路。

12.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1或2所述的振动元件。

13.一种移动体，其特征在于，该移动体具有权利要求1或2所述的振动元件。