[发明专利]现场超高纯度化学品或气体的纯化

权利要求书

1.一种现场纯化系统，其包括：

1）包括待纯化化学品或气体的进料流；

2）至少两个用于接收和纯化所述进料流的纯化单元；

3）至少一个从所述纯化单元流出的纯化流；

4）用于接收所述至少一个纯化流的自动化的流控制系统；其中所述所述自动化的流控制系统包括：输出产品接点和反馈接点；

5）至少一个从所述自动化的流控制系统流出的产品流；和

6）至少一个从所述自动化的流控制系统流出并流入所述至少两个纯化单元中的至少一个中的反馈流。

2.权利要求1的现场纯化系统，其进一步包括：

7）针对所述至少两个纯化单元中的每一个的至少一个排气出口，以除去挥发性杂质；和

8）针对所述至少两个纯化单元中的每一个的至少一个排泄出口，以除去重质杂质。

3.前述权利要求任一项的现场纯化系统，其中所述待纯化化学品或气体选自NH₃、HCl、Cl₂、NF₃、O₂、N₂、CO₂、及其组合；优选NH₃。

4.前述权利要求任一项的现场纯化系统，其中所述至少两个纯化单元中的每一个独立地选自过滤器、吸收床、蒸馏塔、冷凝器、蒸发器和膜；优选其中所述至少两个纯化单元中的一个是蒸馏塔，或所述至少两个纯化单元中的两个是共用同一液体收集器的蒸馏塔。

5.一种现场纯化化学品或气体的方法，其包括以下步骤：

提供含有所述化学品或气体的进料流；

提供现场纯化系统，所述现场纯化系统包括：

1）至少两个纯化单元；和

2）自动化的流控制系统，所述自动化的流控制系统包括：输出产品接点和反馈接点；

使所述进料流流过所述至少两个纯化单元，以从所述至少两个纯化单元中的最后纯化的单元中提供纯化流；和

将所述纯化流送至所述自动化的流控制系统，以根据产品需求将所述纯化流分成输出产品流和反馈流；

其中所述输出产品流维持预定的纯度范围，同时所述产品需求在预定的最大生产能力的0%至100%之间变化。

6.权利要求5的方法，其中所述现场纯化系统进一步包括：

3）针对每个纯化单元的至少一个排气出口，以除去挥发性杂质；和

4）针对每个纯化单元的至少一个排泄出口，以除去重质杂质。

7.权利要求5或6的方法，其中所述化学品或气体选自NH₃、HCl、Cl₂、NF₃、O₂、N₂、CO₂、及其组合；优选NH₃。

8.权利要求5-7任一项的方法，其中所述至少两个纯化单元中的每一个独立地选自过滤器、吸收床、蒸馏塔、冷凝器、蒸发器和膜；优选其中所述至少两个纯化单元中的一个是蒸馏塔，或所述至少两个纯化单元中的两个是共用同一液体收集器的蒸馏塔。

9.权利要求5-8任一项的方法，其中将所述反馈流送回所述至少两个纯化单元中的最后纯化单元中。

10.权利要求5-9任一项的方法，其中所述纯化流含有液体和蒸气。

11.权利要求5-10任一项的方法，其中所述产品流和所述反馈流独立地含有液体、蒸气、及其组合。

12.权利要求5-11任一项的方法，其中将所述反馈流送回所述至少两个纯化单元中的至少最后纯化单元中，以保持固定的液体与蒸气比，用于维持所述输出产品流的预定的纯度范围，同时所述产品需求在预定的最大生产能力的0%至100%之间变化。

13.权利要求5-12任一项的方法，其中所述产品需求瞬时变化。

14.权利要求5-13任一项的方法，其中所述输出产品流给生产流程线、存储和可运输容器补给站提供输出。