[发明专利]用于布置在传感器元件的有效测量区域之前的功能元件在审
申请号: | 201410086856.5 | 申请日: | 2014-03-11 |
公开(公告)号: | CN104049006A | 公开(公告)日: | 2014-09-17 |
发明(设计)人: | R.菲克斯;A.克劳斯 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | G01N27/26 | 分类号: | G01N27/26;G01N27/406;G01N27/414 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 卢江;胡莉莉 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 布置 传感器 元件 有效 测量 区域 之前 功能 | ||
1.用于布置在传感器元件(12)的有效探测区域(28)之前的功能元件,该功能元件具有紧凑的基体(18),所述基体具有气体侧的表面(20)和传感器侧的表面(22),其中在气体侧的表面(20)和传感器侧的表面(22)之间布置有至少两个功能通道(24),其中所述功能通道(24)关于可传送的气体具有彼此不同的功能。
2.根据权利要求1所述的功能元件,其中所述基体(18)至少部分地由材料构型,所述材料从由硅、碳化硅、氧化硅、氧化铝、半导体和玻璃组成的组中选择。
3.根据权利要求1或2所述的功能元件,其中至少一个功能通道(24)是至少部分地可调温的。
4.根据权利要求1到3之一所述的功能元件,其中至少一个功能通道(24)具有至少一个功能通道元件(25),所述功能通道元件从由催化剂、扩散势垒、离子导通材料和存储介质组成的组中选择。
5.根据权利要求1到4之一所述的功能元件,其中至少一个功能通道(24)具有两个串联的功能通道元件(25)。
6.根据权利要求1到5之一所述的功能元件,其中设置有功能层(32),所述功能层至少部分地被布置在所述功能元件(16)的气体侧的表面(20)上。
7.传感器装置,具有传感器元件(12)并且具有至少一个根据权利要求1到6之一所述的功能元件(16),所述传感器元件具有有效探测表面(14),其中所述功能元件(16)相对于要测量的气体的流向被布置在所述传感器元件(12)的探测表面(14)的上游。
8.根据权利要求7所述的传感器装置,其中所述功能元件(16)被构型并且被固定在所述传感器元件(12)上,使得功能通道(24)中的每个与探测表面(14)的独立的局部受限制的探测区域(28)连接。
9.根据权利要求7或8所述的传感器装置,其中所述功能元件(16)被构型为所述传感器元件(12)的载体。
10.根据权利要求7到9之一所述的传感器装置(10)在化学传感器中、特别是在气体传感器中的使用。
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