[发明专利]光扫描仪、致动器、图像显示装置以及头戴式显示器

权利要求书

1.一种光扫描仪，其特征在于，具备：

可动部，其设置有具有光反射性的光反射部，并且能够绕第一轴摆动；

框体部，其能够绕与所述第一轴交叉的第二轴摆动；

第一轴部，其连接所述可动部与所述框体部；

固定部；

第二轴部，其连接所述框体部与所述固定部；

第一应变检测元件，其配置在所述第二轴部并检测所述第二轴部的变形；以及

第一信号处理部，其被输入所述第一应变检测元件的检测信号，输出基于所述第二轴部的弯曲变形的信号。

2.根据权利要求1所述的光扫描仪，其特征在于

根据从所述第一信号处理部输出的信号，来检测所述可动部绕所述第一轴的动作。

3.根据权利要求1或2所述的光扫描仪，其特征在于，

所述第一应变检测元件具备：压电电阻区域，其呈在沿着所述第二轴部的长边方向延伸的长条形状；以及一对端子，它们以沿所述第二轴部的长边方向排列的方式配置在所述压电电阻区域上。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的光扫描仪，其特征在于，

所述第一应变检测元件配置在所述第二轴部的所述固定部侧的端部。

5.根据权利要求2所述的光扫描仪，其特征在于，

使用观测器，根据从所述第一信号处理部输出的信号，来推断所述可动部绕所述第一轴的动作。

6.根据权利要求2所述的光扫描仪，其特征在于，

使用和所述可动部绕所述第一轴摆动相关的共振频率的振幅、与和所述框体部绕所述第一轴摆动相关的共振频率的振幅之比，根据从所述第一信号处理部输出的信号，来推断所述可动部绕所述第一轴的动作。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的光扫描仪，其特征在于，具备：

第二应变检测元件，其配置在所述第二轴部并检测所述第二轴部的变形；以及

第二信号处理部，其被输入所述第二应变检测元件的检测信号，输出基于所述第二轴部的扭转变形的信号。

8.根据权利要求7所述的光扫描仪，其特征在于，

根据从所述第二信号处理部输出的信号，来检测所述可动部绕所述第二轴的动作。

9.一种光扫描仪，其特征在于，具备：

可动部，其设置有具有光反射性的光反射部，并且能够绕第一轴摆动；

框体部，其能够绕与所述第一轴交叉的第二轴摆动；

第一轴部，其连接所述可动部与所述框体部；

固定部；以及

第二轴部，其连接所述框体部与所述固定部，

仅在所述第二轴部配置有应变检测元件。

10.一种致动器，其特征在于，

具有万向架结构，该万向架结构在框体部的内侧利用支承于所述框体部的第一轴部将可动部支承为能够绕第一轴摆动，并且在所述框体部的外侧利用第二轴部将所述框体部支承为能够绕与所述第一轴交叉的第二轴摆动，

所述致动器具有应变检测元件，该应变检测元件配置在所述第二轴部并检测所述第二轴部的变形，

所述致动器使用在所述应变检测元件的检测信号中包含的基于所述第二轴部的弯曲变形的信号，来检测所述可动部绕所述第一轴的动作。

11.一种图像显示装置，其特征在于，具备：

权利要求1～9中任一项所述的光扫描仪；以及

射出光的光源，

利用所述光反射部反射从所述光源射出的光，而显示图像。

12.一种头戴式显示器，其特征在于，具备：

权利要求1～9中任一项所述的光扫描仪；和

射出光的光源，

利用所述光反射部反射从所述光源射出的光，而将图像作为虚像显示。