[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于包括排气部，该排气部包含：多个动叶部，多段地配置，且分别具有多个转子叶片；及多个静叶部，配置在所述动叶部之间，静叶部的外周边缘经由间隔件受到支撑，且分别具有多个定子叶片；

在所述多个静叶部的至少一个静叶部，设置在该静叶部的多个定子叶片的内周侧的叶片高度设定得小于外周侧的叶片高度；

在该静叶部的内周侧未朝向进气口侧浮升时，该静叶部的内周侧的上表面与上段侧的动叶部的下表面的间隙，大于该静叶部的内周侧的下表面与下段侧的动叶部的上表面的间隙的构造下，该静叶部会在该静叶部的内周侧的上表面与上段侧的动叶部的下表面的间隙，不小于该静叶部的外周侧的上表面与上段侧的动叶部的下表面的间隙的范围内，以其内周侧朝向该进气口侧浮升的方式由所述间隔件支撑。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述静叶部包含内周边缘与所述外周边缘，所述定子叶片设置在所述内周边缘与所述外周边缘之间；

将所述外周边缘的外周缘从所述外周边缘向所述定子叶片的上表面方向以规定的倾斜角度弯折，由此，所述内周边缘向所述进气口侧浮升。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于：

在将所述定子叶片的外周侧的叶片高度设为ho，将所述定子叶片的内周侧的叶片高度设为hi的情况下，所述内周边缘的前端相对于所述外周缘的浮升高度s满足如下关系：

(ho-hi)＞s。

4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

在将所述定子叶片的外周侧的叶片高度设为ho，将所述定子叶片的内周侧的叶片高度设为hi的情况下，所述静叶部的内周边缘的前端相对于所述外周边缘的外周缘的浮升高度s满足如下关系：

(ho-hi)＞s。