[发明专利]产品生产异常处理的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种产品生产异常处理的方法，特别涉及一种应用于半导体制造领域的产品生产异常处理的方法。

背景技术

在半导体制造的生产过程中，由于机台或者工人操作的问题，时有异常情况发生。通常发生异常后由工程师检查受影响产品情况，判断后制定下一步的处理措施。对于产品异常，目前的处理方式是由一线制造工人口头通知工艺工程师，工艺工程师查询产品详细异常信息后，将异常产品信息记录在纸质表单上，再按照表单手动对产品处理。目前的处理流程无系统自动的记录，设备工程师的处理意见和工艺工程师的处理意见不能相互比对，容易造成处理失误，产品异常处理正确率偏低。

发明内容

鉴于此，有必要提供一种应用于半导体制造领域的产品异常处理正确率的产品生产异常处理的方法。

一种产品生产异常处理的方法，包括如下步骤：

生产系统检查产品是否发生异常；

当产品发生异常时，所述生产系统将产品留在所在工位，并提示异常信息；

所述生产系统接收一线制造工人输入的产品基本信息，然后发出显示产品基本信息的异常电子通知单；

所述生产系统接收设备工程师输入的异常产品状况和第一处理方案；

所述生产系统接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案；

所述生产系统检查第一处理方案和第二处理方案是否一致；

若所述第一处理方案和第二处理方案一致，所述生产系统接收第二工艺工程师输入的异常产品状况和第三处理方案；

所述生产系统检查第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案是否一致；

若所述第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案一致，所述生产系统接收一线制造工人输入的异常产品状况和第四处理方案；

所述生产系统检查第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案是否一致；

若第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案一致，所述生产系统按照所述一致的处理方案自动执行。

在其中一个实施例中，所述产品基本信息包括产品在设备端的位置。

在其中一个实施例中，若所述第一处理方案和第二处理方案不一致，则所述生产系统执行接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案的步骤。

在其中一个实施例中，若第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案不一致，则所述生产系统不会向一线制造工人发送所述设备工程师、所述第一工艺工程师和所述第二工艺工程师填写的异常产品状况和处理方案，所述生产系统执行接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案的步骤。

在其中一个实施例中，若第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案不一致，所述生产系统执行接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案的步骤。

在其中一个实施例中，所述异常产品状况包括由所述生产系统预定义的状况分类：未工艺、部分工艺、已工艺。

在其中一个实施例中，在所述生产系统中，所述异常产品状况分别对应由所述生产系统预定义的处理方案。

在其中一个实施例中，若所述第二处理方案为产品返工，则所述工艺工程师提交第二处理方案后所述生产系统对比返工工艺菜单和正常工艺菜单，并输出对比结果。

在其中一个实施例中，若所述第二处理方案为产品返工，则所述第二工艺工程师提交第三处理方案后所述生产系统显示所述返工工艺菜单和所述正常工艺菜单的对比信息。

在其中一个实施例中，所述输出对比结果包括弹出对比提示窗口。

上述的产品生产异常处理的方法，产品发生异常后，生产系统将产品留在所在工位，经过设备工程师、第一工艺工程师、第二工艺工程师和一线制造工人确认异常产品状况和处理方案一致后，按照处理方案自动执行，经多名技术人员确认异常产品状况和处理方案，大大提高了产品异常处理正确率。

异常产品信息记录可以保存在电子系统中，便于追溯查询。对于已完成工艺或未进行工艺的异常产品，相对于目前采用的人为手动进出工艺站点，本发明是由系统自动控制处理，处理风险大大降低。

附图说明

图1为本发明一个实施例的流程图。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的具体实施方式进行详细描述。

图1为本发明一个实施例的流程图，包括：

步骤S100：生产系统检查产品是否发生异常。生产系统通过生产设备检测产品是否发生异常。