[发明专利]蒸发设备有效
| 申请号： | 201410057314.5 | 申请日： | 2014-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN104711520B | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李秀奂;林宰圣;朴振佑 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;王艳春 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 设备 | ||
1.一种蒸发设备，包括：
坩埚体，配置成在其中容纳沉积材料；
加热部，配置成蒸发容纳在所述坩埚体中的所述沉积材料；
喷嘴部，配置成具有至少一个喷孔，所述沉积材料通过所述喷嘴部喷射；以及
多个分隔板，设置在所述坩埚体内部以将所述坩埚体分为多个容纳空间，所述多个分隔板具有开口，所述容纳空间通过所述开口而彼此相通，
其中，所述分隔板和所述坩埚体具有不同的热导率。
2.如权利要求1所述的蒸发设备，其中，多个所述分隔板具有不同的热导率。
3.如权利要求2所述的蒸发设备，其中，
多个所述分隔板包括第一分隔板和第二分隔板，所述第一分隔板具有低于所述坩埚体的第一热导率的第二热导率，所述第二分隔板具有高于所述第一热导率的第三热导率。
4.如权利要求1所述的蒸发设备，其中，每个所述分隔板包括：
第一表面，配置成具有第一热导率；以及
第二表面，配置成具有与所述第一热导率不同的第二热导率，其中所述第二表面与所述第一表面相对。
5.如权利要求1所述的蒸发设备，其中，每个所述分隔板具有的开口的大小或数量与其它分隔板不同。
6.如权利要求1所述的蒸发设备，其中，所述分隔板被设置成可附接至所述坩埚体并与所述坩埚体可分开。
7.如权利要求1所述的蒸发设备，其中，所述坩埚体包括钛，所述分隔板包括铜。
8.如权利要求1所述的蒸发设备，还包括：
安装在所述坩埚体的侧部处的隔热板。
9.如权利要求1所述的蒸发设备，其中，所述坩埚体的底部表面被形成为具有不同高度。
10.如权利要求9所述的蒸发设备，其中，位于所述坩埚体的边缘部分的底部表面被形成为比位于所述坩埚体的中心部分的底部表面高。
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