[发明专利]适用LED光源泵浦的掺铒光放大器材料的制备方法无效
申请号: | 201410054285.7 | 申请日: | 2014-02-18 |
公开(公告)号: | CN103834916A | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 郑军;成步文;王启明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/34 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 适用 led 光源 掺铒光 放大器 材料 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及铒光放大器的技术,特别是适用LED光源泵浦的掺铒光放大器材料的制备方法。通过设计铒光放大器材料的结构,可以实现铒离子对LED光源发出的光具有高吸收效率,提高了泵浦光效率,从而有效降低光放大器成本的技术。
背景技术
光放大器作为光通信网络中的核心器件,一直是光通信领域的一个重要内容。光放大器能够直接进行光放大,无需经过光电转换,从而消除目前许多系统中的电子瓶颈,好比信息高速公路的“加油站”,使超长距离传输成为可能。掺铒(Er)光放大器由于其独特的优势,在光通信领域应用十分广泛。然而,稀土Er3+具有窄的能级吸收的特点,掺铒光放大器需要采用价格昂贵的单模激光器(比如980nm、1480nm)来泵浦。如果能够采用LED光源来泵浦掺铒光放大器,那么掺铒光放大器的成本将可以进一步降低。虽然也有报导采用大功率LED来直接泵浦铒光放大器,但由于没能从根本上解决Er3+能级吸收弱的特点,泵浦效率非常低,限制了其在现实中的应用。此外,也有采用将Er3+掺入半导体材料中,实现LED光源的泵浦的光放大器,但泵浦效率等问题仍未很好地解决。因此,研制LED光源激发下,Er3+高效发光的基质材料对实现低成本的掺铒光放大器有着重要的意义。
发明内容
本发明的目的在于,提供一种适用LED光源泵浦的掺铒光放大器材料的制备方法,其是通过设计铒光放大器材料的结构,以实现铒离子对LED光源发出的光具有高吸收效率,提高泵浦光效率,从而可以有效降低光放大器的成本。
本发明提供一种适用LED光源泵浦的掺铒光放大器材料的制备方法,包括如下步骤:
步骤1:取SrmBanSixOy:Er3+/RE;
步骤2:将SrmBanSixOy:Er3+/RE压制成靶材;
步骤3:采用溅射的方法,溅射靶材;
步骤4:靶材上溅射出的粒子,在基片上沉积,形成SrmBanSixOy:Er3+/RE的薄膜,完成制备。
本发明还提供一种适用LED光源泵浦的掺铒光放大器材料的制备方法,包括如下步骤:
步骤1:取SrmBanSixOy:RE;
步骤2:取Er2O3;
步骤3:将SrmBanSixOy:RE:RE和Er2O3分别压制成靶材;
步骤4:采用溅射的方法,同时溅射两种靶材;
步骤5:靶材上溅射出的粒子,在基片上沉积,形成SrmBanSixOy:Er3+/RE的薄膜,完成制备。
附图说明
为进一步说明本发明的具体技术内容,以下结合实施例及附图详细说明如后,其中:
图1是本发明实施例1的制备流程图;
图2是本发明实施例2的制备流程图;
图3是SrmBanSixOy:Er3+/RE薄膜的红外发光谱和红外发光对应的激发谱。
具体实施方式
实施例1:
请参阅图1所示,本发明提供一种适用LED光源泵浦的掺铒光放大器材料的制备方法,包括如下步骤:
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