[发明专利]电容器和电容器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及多孔电容器。 

背景技术

近年来，作为新型的电容器开发出多孔电容器。多孔电容器是利用形成在铝等金属表面的金属氧化物形成多孔（细孔的贯通孔）结构的性质而在多孔内形成内部电极，将金属氧化物作为电介质形成的电容器。 

在电介质的正面和背面分别层叠外部导电体，在多孔内形成的内部电极与正面的外部导电体和背面的外部导电体的任意一方连接。与和内部电极不连接的一侧的外部导电体之间，利用空隙或绝缘性材料绝缘。由此，内部电极作为隔着电介质相对的相对电极（正极或负极）发挥功能。 

例如，专利文献1和专利文献2中公开了具有这样结构的多孔电容器。在任一个专利文献中，内部电极均形成在多孔内，内部电极的一端与一方的导电体连接，另一端与另一方的导电体绝缘。 

现有技术文献 

专利文献 

专利文献1：日本专利4493686号公报 

专利文献2：日本特开2009－76850号公报 

发明内容

发明所要解决的课题 

如上所述，多孔电容器为形成在多孔内的内部电极隔着电介质相对的结构，电介质由金属氧化物构成，其结构不致密。因此，存在位于内部电极之间的电介质的耐电压特性产生不均的问题。 

鉴于上述情况，本发明的目的在于提供耐电压特性优异的多孔电 容器及其制造方法。 

用于解决课题的方法 

为了达到上述目的，本发明的一个方式的电容器包括电介质层、第一外部电极层、第二外部电极层、第一内部电极和第二内部电极。 

上述电介质层由具有结晶结构的金属氧化物构成，包括第一面、与上述第一面相反侧的第二面、和连通上述第一面与上述第二面的多个贯通孔。 

上述第一外部电极层配置于上述第一面。 

上述第二外部电极层配置于上述第二面。 

上述第一内部电极形成在上述多个贯通孔中且与上述第一外部电极层连接。 

上述第二内部电极形成在上述多个贯通孔中且与上述第二外部电极层连接。 

附图说明

图1是本发明的实施方式的电容器的立体图。 

图2是该电容器的剖面图。 

图3是该电容器的电介质层的立体图。 

图4是该电容器的电介质层的剖面图。 

图5是形成该电容器的电介质层的金属氧化物的XRD测定结果。 

图6是该电容器的绝缘耐压试验的结果。 

图7是表示该电容器的制造工序的示意图。 

图8是表示该电容器的制造工序的示意图。 

图9是表示该电容器的制造工序的示意图。 

图10是表示该电容器的制造工序的示意图。 

图11是表示该电容器的制造工序的示意图。 

图12是表示该电容器的制造工序的示意图。 

图13是表示该电容器的电介质层中的贯通孔的排列的剖面图。 

图14是表示该电容器的电介质层中的贯通孔的排列的剖面图。 

图15是表示该电容器的电介质层中的贯通孔的排列的剖面图。 

图16是表示该电容器的电介质层中的贯通孔的排列的剖面图。 

图17是表示该电容器的电介质层中的贯通孔的排列的剖面图。 

图18是表示该电容器的电介质层中的贯通孔的排列的剖面图。 

图19是表示该电容器的电介质层中的贯通孔的排列的剖面图。 

具体实施方式

本发明的一个实施方式的电容器包括：电介质层、第一外部电极层、第二外部电极层、第一内部电极和第二内部电极。 

上述电介质层由具有结晶结构的金属氧化物构成，上述电介质层包括第一面、与上述第一面相反侧的第二面、和连通上述第一面与上述第二面的多个贯通孔。 

上述第一外部电极层配置于上述第一面。 

上述第二外部电极层配置于上述第二面。 

上述第一内部电极形成在上述多个贯通孔中且与上述第一外部电极层连接。 

上述第二内部电极形成在上述多个贯通孔中且与上述第二外部电极层连接。