[发明专利]图案形成装置及图案形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及通过版对担载于橡皮布上的图案形成材料进行图案成形，或者将所形成的图案转印至基板来形成图案的图案形成装置以及图案形成方法。

背景技术

存在如下在玻璃基板、半导体基板等基板上形成图案的技术，即，使担载有图案的橡皮布紧贴于基板上来将图案转印至基板。另外，存在如下使图案担载于橡皮布上的技术，即，使版（负片版（negative plate））压力接触由图案形成材料形成在橡皮布表面上的均匀的膜上，使该膜中的不需要的部分附着于版上来除去，从而仅将成为图案的部分留在橡皮布上来进行图案形成（图案成形）。

作为这样的一个技术，例如将日本特开平07-125179号公报所记载的印刷技术应用于图案转印中。例如在日本特开2002-036499号公报所记载的技术中，将向一个方向赋予张力来架设在机架上的版以相对于基板倾斜的状态配置在基板的上方，通过冲压辊将版从一端部依次按压于基板上，然后剥离版，从而将版上的图案转印至基板。

在上述现有技术中，版和基板的对位精度有改进的余地。即，在上述技术中，为了使辊抵接，需要以使版的上表面开放的状态保持版，为了防止版因自重而弯曲从而与基板发生接触的情况，必须使版和基板之间的初始空隙大到某种程度。因此，在从该状态下使两者接近来按压的过程中容易产生位置偏移。另外，在基板和版接近的一端侧能够进行对位，但是在另一端侧不能进行对位，另外，从一端依次按压的过程中，可能使位置偏移逐渐变大。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供如下技术，即，在使版或者基板与橡皮布抵接来进行图案形成的图案形成装置以及图案形成方法中，能够使版或者基板与橡皮布以高的位置精度抵接。

为了达到上述目的，本发明的图案形成装置具有：第一保持单元，其对在一面上担载有图案形成材料的橡皮布，以使所述图案形成材料的担载面朝上的水平姿势进行保持；第二保持单元，其将用于对所述图案形成材料进行图案成形的版或者被转印图案的基板作为处理对象物，以使该处理对象物与被所述第一保持单元保持的所述橡皮布的上表面接近并相向的方式，保持该处理对象物；托起单元，其从所述橡皮布的下表面侧局部地托起所述橡皮布中央部的有效区域，来使所述有效区域与被所述第二保持单元保持的所述处理对象物相抵接，而且沿着所述橡皮布的下表面移动来使所述橡皮布的托起位置发生变化。

另外，为了达到上述目的，本发明的图案形成方法包括：保持工序，将用于对图案形成材料进行图案成形的版或者要被转印图案的基板作为处理对象物，将该处理对象物保持为使处理对象面朝下的水平姿势，并且将在一面上担载有所述图案形成材料的橡皮布保持为所述图案形成材料的担载面朝上的水平姿势且使所述图案形成材料的担载面与所述处理对象物的下表面接近并相向；托起工序，从所述橡皮布的下表面侧局部托起所述橡皮布中央部的有效区域，来使所述有效区域与所述处理对象物相抵接，而且沿着所述橡皮布的下表面，使所述橡皮布的托起位置发生变化。

在这些发明中，从配置于处理对象物（版或者基板）的下方且与该处理对象物（版或者基板）相向的橡皮布的下表面侧局部托起橡皮布，从而使橡皮布抵接于处理对象物上。在这样的结构中，对配置于上侧的处理对象物进行的保持并不受到特别的限制，因此能够在抑制弯曲的状态下进行保持。另一方面，配置于下侧的橡皮布可能因自重而向下方弯曲，但是向与上侧的处理对象物分离的方向弯曲，因此不会因弯曲而与处理对象物发生接触。因此，能够使处理对象物和橡皮布比以往更接近，将两者之间的空隙设定为极其小的值。另外，能够以使处理对象物和橡皮布相互平行的方式进行配置。

因此，能够在这样两者接近的状态下进行对位，并且由于从接近的状态到抵接为止的相对移动量小，因此还能够将它们之间的位置偏移抑制得小。因此，根据本发明，能够使作为处理对象物的版或者基板与橡皮布以高的位置精度抵接。此外，这里的处理对象物和橡皮布之间的抵接指，包括两者隔着担载于橡皮布的担载面上的图案材料相抵接的情况。

在这些发明中，例如也可以将橡皮布的下表面的在一个轴方向上比有效区域的长度长的区域一同托起，并且使托起位置从有效区域的与该轴方向垂直的方向上的一端朝向另一端沿一个方向移动。另外，为了实现这些，也可以设置托起单元，该托起单元具有：托起辊，其沿着轴方向延伸设置；移动部，其一边支撑托起辊并能够使托起辊自由旋转，一边向与轴方向垂直的方向移动。使处理对象物和橡皮布之间从一端朝向另一端沿一个方向进行抵接，从而能够防止在图案形成材料中产生变形或者产生气泡进入处理对象物和橡皮布之间等缺陷。