[发明专利]一种用于金相制样的模具和金相制样方法

说明书

本发明公开了一种用于金相制样的模具和金相制样方法，所述金相制样方法包括：获取待观测的一个或多个样品；将所述一个或多个样品放置并固定在模具的相应槽中；以及对固定在一起的所述一个或多个样品和所述模具进行研磨、抛光和观测，如此可以使用快速固化材料将样品固定在模具中而不影响制样的质量，从而能够缩短制样时间，提高了分析效率。

技术领域

本发明涉及微观分析测试领域，具体地，涉及一种用于金相制样的模具和金相制样方法。

背景技术

目前，在许多领域中都需要进行微观分析测试，例如材料学中的金相分析、元素成分分析；半导体领域中的微型结构的形貌观测等，在这些分析观测中都需要对待观测、分析的样品进行“金相制样”，然后才能放到电子显微镜里进行观测分析和测量。

通常金相制样的步骤是：

（1）对于体积大的样品（如硅圆片、封装好的器件等）进行切割，以切割成合适的“小样品”；

（2）用商用的镶样机或手工把待观测的“小样品”镶嵌在模具内的树脂中，如图1所示的是制样的模具；

（3）树脂固化后被从模具中取出，通过研磨抛光机或者手工对被观测的样品进行研磨、抛光，以获取待观测的金相样品，如图2所示。

然而，在上述金相制样过程中，镶嵌样品时最常用的树脂是环氧树脂。而这种环氧树脂在常温下固化需要8个小时左右；即使加热固化，也需要2至4小时。可见该方法的制样时间太长，极大地降低了分析效率。虽然也可以选用其它少数快速固化材料，如牙托粉等，但获得的金相样品的质量较差。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于金相制样的模具和金相制样方法，通过该金相制样的模具和金相制样方法能够缩短制样时间，从而提高了分析效率。

为了实现上述目的，本发明提供一种金相制样方法，所述金相制样方法包括：获取待观测的一个或多个样品；将所述一个或多个样品垂直放置并固定在模具的相应槽中；以及对固定在一起的所述一个或多个样品和所述模具进行研磨、抛光和观测。

此外，本发明还提供一种用于金相制样的模具，所述模具具有多个槽，且其中每个槽的一个侧面与底面垂直。

本发明通过将待观测样品固定在模具的相应槽中，并对固定在一起的所述一个或多个样品和所述模具进行研磨、抛光和观测，如此可以使用快速固化材料将样品固定在模具中而不影响制样的质量，从而有效地缩短制样时间，提高了样品的分析效率。

本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是现有用于金相制样的模具的示意图；

图2是使用图1所示模具制成的金相样品的示意图；

图3是根据本发明实施方式的用于金相制样的模具的示意图；以及

图4是使用图3所示模具实现镶样的示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

图3是根据本发明实施方式的用于金相制样的模具的示意图。如图3所示，本发明所提供的用于金相制样的模具具有多个槽10，且所述多个槽10位于模具的同一侧。