[发明专利]摄像装置及使用该摄像装置的蒸镀装置

说明书

本发明提供摄像装置及使用该摄像装置的蒸镀装置。目的在于控制使用焦阑镜头或真空用镜头的摄像装置的调制度降低的修正和超调量的粗细。在包含轮廓修正功能的影像信号处理电路的摄像装置中，具有8个以上行存储器，从延迟了整数水平周期量的多个影像信号的各影像信号发生强调频率宽并且强调中心频率可变的垂直轮廓修正信号，具有8个以上像素延迟功能，从延迟了整数像素量的多个影像信号的各影像信号发生强调频率宽并且强调中心频率可变的水平轮廓修正信号，在影像信号上加上所述垂直轮廓修正信号和所述水平轮廓修正信号，在确认时设为使所述垂直轮廓修正信号和所述水平轮廓修正信号的强调中心频率低，扩展到多个像素的轮廓强调。

技术领域

本发明涉及使用固体摄像元件的摄像装置及使用该摄像装置的蒸镀装置的改进。

背景技术

内置有从由CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合器件)摄像元件输出的信号中去除噪音的CDS(Correlated Double Sampling：相关双采样)、暗电流修正和增益可变放大电路(Automatic Gain Control以下称为AGC)、变换为数字影像信号Vi的ADC(AnalogDigital Converter：模数转换器)的AFE(Analog Front End：模拟前端)已经普及，AFE的ADC灰度以往为10比特，但12比特或14比特已经普遍。而且，合并驱动电路或读取电路并能够高速读取的CMOS(Complementary Metal Oxicide Semiconductor：互补金属氧化物半导体)摄像元件的改进也取得了进展。

而且，数字信号处理电路的集成化进步，存储多行的输出信号并进行算术处理不仅能够通过影像专用的存储器集成DSP实现，也能够通过廉价的通用FPGA(FieldProgrammable Gate Array：现场可编程门阵列)来容易地实现。使用了像素数为数百万以上的百万像素摄像机、HDTV(High Definition Television：高清电视)摄像机、高速摄像HDTV摄像机、带记录部的HDTV摄像机、带Internet Protocol(以下称为IP)传输部的HDTV摄像机、更高精度的2K×4K摄像机、4K×8K摄像机、HDD(Hard Disk Drive：硬盘驱动器)的非压缩的记录装置也被产品化。

平面影像显示装置也在更高精度的2K×4K、4K×8K的显示、高速显示或超薄化方面取得进步。并且，将利用了有机电致发光(Organic Electro-luminescence：OEL、有机EL)的发光现象的有机发光二极管(Organic Light-emitting diode：OLED)或被称为发光聚合物(Light Emitting Polymer：LEP)的发光元件作为各像素的高速显示、超薄化的平面影像显示装置也开始了产品化。该平面影像显示装置也被称为有机EL显示器或OLED显示器，一般简称为有机EL或OLED。使用了有机EL发光元件的照明设备也在开发中。有机EL元件(EL面板)的薄膜制造的一般方法是在真空的室内加热原料化合物使其蒸发，使化合物薄薄地(数nm－数百nm)蒸镀在薄膜透明的玻璃基板或塑料基板上。室内有时不是真空而填充惰性气体。

轮廓修正的超调量或欠调量成为位置检测或尺寸测量的误差，因此，一般在位置检测或尺寸测量的摄像装置中不实施轮廓修正。

因为是真空用镜头，所以在空气中由于真空和空气的折射率的差，调制度降低。在大气压的惰性气体中，折射率与原子量成比例地增大，调制度也降低。0℃1气压的折射率，He氦为1.000035，Ne氖为1.00008，氩为1.00028，空气为1.000292。

使用在孔径比F12.5左右、光学理论边界(理想的镜头的)调制度降低，但是在焦点前后像的大小不改变的焦阑镜头(参照非专利文献1)。