[发明专利]电解槽及使用该电解槽的再生酸性蚀刻液设备及再生方法

权利要求书

1.一种电解槽，其特征在于：包括一电-电渗析系统和一电解系统，所述电-电渗析系统和所述电解系统按电化学式（2）为一再生酸性蚀刻液的反应器内提供所需反应气体：

H₂O→2H⁺+1/2O₂+2e^-     （2），

所述电解系统按电化学式（3）为所述反应器内提供加速剂：

Cl^-+3H₂O→ClO₃^-+6H⁺+6e^-      （3）。

2.根据权利要求1所述的电解槽，其特征在于：所述电-电渗析系统和电解系统内按照电化学式（6）回收铜，

CuCl⁺+2e^-→Cu+Cl^-       （6）。

3.根据权利要求1所述的电解槽，其特征在于：所述电解系统按照电化学式（7）和电化学式（8）提供加速剂：

2Cl^-→Cl₂+2e^-             （7）；

Cl₂+6H₂O→2ClO₃^-+12H⁺+12e^-     （8）。

4.根据权利要求1所述的电解槽，其特征在于：所述电-电渗析系统按电化学式（9）为酸性蚀刻液提供额外的酸性溶液，

2H⁺+2Cl^-→2HCl        （9）。

5.根据权利要求2所述的电解槽，其特征在于：包括A隔间和B隔间，所述A隔间内设有电-电渗析系统，所述B隔间内设有电解系统；

所述A隔间包括按电化学式（2）反应用于产生反应气体O₂的第一阳极室；按电化学式（6）反应用于回收铜的第一阴极室，以及置于所述第一阳极室和和第一阴极室之间的中间室；

所述B隔间包括按电化学式（2）反应用于产生反应气体O₂、按电化学式（3）反应用于产生加速剂ClO₃^-的第二阳极室和按电化学式（6）反应用于回收铜的第二阴极室。

6.根据权利要求5所述的电解槽，其特征在于：所述第一阳极室和中间室之间设有仅限阳离子从所述第一阳极室进入到中间室内的阳离子膜，所述中间室和第一阴极室之间设有仅限阴离子从所述第一阴极室进入到中间室内的阴离子膜。

7.根据权利要求5所述的电解槽，其特征在于：所述第一阴极室和第二阴极室内设有钛板电极，电流密度在1到10A/dm²之间。

8.根据权利要求5所述的电解槽，其特征在于：所述第一阳极室内包含硫酸溶液和钛板电极，硫酸适宜的浓度为10%到20%之间，电流密度为1到5A/dm²。

9.一种使用权利要求1所述的电解槽的再生酸性蚀刻液设备，其特征在于：包括，

一与蚀刻机内的蚀刻液池连接的反应器，所述反应器内按电化学式（1）氧化生成[CuCl₂]⁺，

2CuCl₂-+2H⁺+1/2O₂→2CuCl⁺+2Cl^-+H₂O；     （1），

一与所述反应器连接的电解槽，所述电解槽包括一电-电渗析系统和一电解系统，所述电-电渗析系统和所述电解系统按电化学式（2）为所述反应器内提供所需反应气体：

H₂O→2H⁺+1/2O₂+2e^-    （2），

所述电解系统按电化学式（3）为所述反应器内提供加速剂：

Cl^-+3H₂O→ClO₃^-+6H⁺+6e^-      （3）。