[发明专利]元件保持状态检测方法及元件安装装置

权利要求书

1.一种元件保持状态检测方法，以具有通过第一透镜将被摄体成像于二维排列多个受光元件而成的拍摄元件的第一拍摄区域和通过所述第一透镜及第二透镜将被摄体成像于所述拍摄元件的第二拍摄区域的方式构成拍摄单元，通过安装于头的保持部件保持元件，在所述第一拍摄区域内拍摄保持于所述保持部件的元件，并且在所述第二拍摄区域内拍摄设于所述头的基准标记，由此同时拍摄所述元件和所述基准标记，基于通过拍摄所述元件和所述基准标记而获得的图像来检测保持于所述保持部件的元件的保持状态，所述元件保持状态检测方法的特征在于，

在判定所述保持状态之前，在所述第一拍摄区域内拍摄变形测定用被摄体，基于通过拍摄所述变形测定用被摄体而获得的图像来测定所述第一拍摄区域的变形成分并进行存储，并且，在所述第二拍摄区域内拍摄变形测定用被摄体，基于通过拍摄所述变形测定用被摄体而获得的图像来测定所述第二拍摄区域的变形成分并进行存储，

当所述元件保持于所述保持部件时，通过所述拍摄单元同时拍摄所述元件和所述基准标记，基于所存储的所述第一拍摄区域的变形成分来校正在所述第一拍摄区域内拍摄所述元件而获得的图像，并且基于所存储的所述第二拍摄区域的变形成分来校正在所述第二拍摄区域内拍摄所述基准标记而获得的图像，

基于校正后的所述图像来检测保持于所述保持部件的元件的保持状态。

2.根据权利要求1所述的元件保持状态检测方法，其特征在于，

在判定所述保持状态之前，设置第一变形测定用被摄体作为所述变形测定用被摄体，在所述第一拍摄区域内拍摄所述第一变形测定用被摄体，基于通过拍摄所述第一变形测定用被摄体而获得的图像来测定所述第一拍摄区域的变形成分并进行存储，并且，设置与所述第一变形测定用被摄体不同的第二变形测定用被摄体作为所述变形测定用被摄体，在所述第二拍摄区域内拍摄所述第二变形测定用被摄体，基于通过拍摄所述第二变形测定用被摄体而获得的图像来测定所述第二拍摄区域的变形成分并进行存储。

3.根据权利要求2所述的元件保持状态检测方法，其特征在于，

由多个图形呈格子状排列而成的图案构成所述第一变形测定用被摄体，

由多个图形以与所述第一变形测定用被摄体不同的间距呈格子状排列而成的图案构成所述第二变形测定用被摄体。

4.一种元件安装装置，将元件安装于基板，所述元件安装装置的特征在于，具备：

头，安装有保持所述元件的保持部件，并且设有基准标记；

移动单元，使所述头移动；

拍摄单元，具有通过第一透镜将被摄体成像于二维排列多个受光元件而成的拍摄元件的第一拍摄区域和通过所述第一透镜及第二透镜将被摄体成像于所述拍摄元件的第二拍摄区域，在所述第一拍摄区域内拍摄保持于所述保持部件的元件，并且在所述第二拍摄区域内拍摄所述基准标记，由此能够同时拍摄所述元件和所述基准标记；

保持状态检测单元，当通过所述拍摄单元同时拍摄所述元件和所述基准标记时，基于针对所述第一拍摄区域预先测定出的第一变形成分来校正通过所述第一拍摄区域内的拍摄而获得的图像，并且基于针对所述第二拍摄区域预先测定出的第二变形成分来校正通过所述第二拍摄区域内的拍摄而获得的图像，基于校正后的所述图像来检测保持于所述保持部件的元件的保持状态；及

安装控制单元，基于检测出的所述元件的保持状态来控制所述移动单元和所述保持部件，以将所述元件安装于所述基板。