[发明专利]用于泵吸轻气体的泵站以及泵站的使用在审
| 申请号： | 201380067683.6 | 申请日： | 2013-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN104870815A | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 迪尔克·席勒;丹尼尔·施奈登巴赫;托马斯·德赖费特 | 申请（专利权）人： | 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B37/18;F04B41/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 丁永凡;张春水 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 泵吸轻 气体 泵站 以及 使用 | ||
1.一种用于泵吸轻气体的泵站，所述泵站具有：
与待抽真空的腔室连接的干燥压缩的第一泵(12)；和
与干燥压缩的所述第一泵(12)连接的干燥压缩的第二泵(14)，
其特征在于，
干燥压缩的这些泵(12，14)相对于周围环境气密密封并且不设有吹扫气体供给。
2.根据权利要求1所述的泵站，其特征在于，与干燥压缩的所述第一泵(12)并联地设置有干燥压缩的第三泵(18)，所述第三泵与待抽真空的所述腔室(10)连接。
3.根据权利要求2所述的泵站，其特征在于，干燥压缩的所述第一泵和所述第三泵(12，18)共同与干燥压缩的所述第二泵(14)连接。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的泵站，其特征在于，设有尤其直接与干燥压缩的所述第二泵(14)连接的另一个干燥压缩的泵(20)。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的泵站，其特征在于，与干燥压缩的所述第二泵(14)或者所述另一个干燥压缩的泵(20)连接有尤其相对于大气进行泵吸的前级真空泵(22)。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的泵站，其特征在于，干燥压缩的所述第一泵和/或第三泵(12，18)直接与待抽真空的所述腔室(10)连接。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的泵站，其特征在于，干燥压缩的所述第二泵(14)直接与干燥压缩的所述第一泵和/或所述第三泵(12，18)连接。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的泵站，其特征在于，干燥压缩的所述第一泵和/或第二泵和/或第三泵和/或另一个泵构成为螺旋泵。
9.根据权利要求5至8中任一项所述的泵站，其特征在于，所述前级真空泵(22)是干燥的容积式真空泵，如罗茨泵、爪式泵、活塞泵或者螺旋泵。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的泵站，其特征在于，整个所述泵站形成对外气密密封的系统。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的泵站，其特征在于，轻气体，尤其是氢、氢同位素、氘、氚、氦、氦同位素和/或它们的混合物被泵吸。
12.一种根据权利要求1至11中任一项所述的泵站的应用，其用于在没有吹扫气体供给的情况下将轻气体运送离开待抽真空的腔室。
13.根据权利要求12所述的应用，其中仅将气体通过所述泵站的所述真空泵运送离开待抽真空的所述腔室。
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