[发明专利]真空紫外吸收光谱系统和方法

权利要求书

1.一种气相色谱分析系统，所述系统包括：

气相色谱柱，所述气相色谱柱经配置提供待分析的至少一种气体分析物；

气体流动池，所述气体流动池耦接于所述气相色谱柱，以便从所述气相色谱柱接收所述分析物的流；

在所述气体流动池内的检测空间，所述检测空间的体积约等于或大于从所述气相色谱柱提供的所述分析物的体积；

耦接于所述气体流动池的光源；以及

耦接于所述气体流动池的检测器，

所述气体流动池经配置通过所述检测空间将光从所述光源传递到所述检测器用于检测所述分析物的特性。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述光源是宽带VUV光源，并且所述检测器是能够同时测定多个光波长的光谱仪，从所述光源到所述检测器的光路包含在一个或多个受控环境内。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述光源是VUV光源。

4.根据权利要求3所述的系统，其中所述气体流动池被环境密封并具有允许VUV光经过所述气体流动池的VUV光学耦合机构。

5.根据权利要求4所述的系统，其中经过所述气体流动池的所述光是准直VUV光。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述检测器是光谱仪。

7.根据权利要求1所述的系统，还包括耦接于所述气体流动池的补充气体流。

8.根据权利要求7所述的系统，其中所述光源是VUV光源，并且所述补充气体流由在所述VUV光区中对所述检测器是相对不可见的气体组成。

9.根据权利要求1所述的系统，其中所述系统通过允许耦接于所述气体流动池的所述组件中的至少一个组件移动来允许所述气体流动池由于所述气体流动池的热膨胀引起的移动。

10.根据权利要求9所述的系统，其中耦接于所述气体流动池的至少一个模块经配置由于所述气体流动池的热膨胀而移动。

11.一种用于耦接于气体源的光学检测系统的气体流动池，所述气体流动池包括：

气体入口；

气体出口；

气体流动通道，所述气体流动池被环境密封以提供用于气体从所述气体入口至所述气体出口流动的受控环境；以及

多个光学联结器，VUV波长或更小的光作为通过所述气体流动通道的所述光的透射的部分经过所述多个光学联结器，

所述气体流动池经配置接受准直VUV光。

12.根据权利要求11所述的气体流动池，所述气体流动通道的体积足够大，使得所述气体流内的几乎所有分析物可以同时被包含在所述气体流动通道中。

13.根据权利要求11所述的气体流动池，还包括至少一个热隔离联结器，所述至少一个热隔离联结器提供用于将所述气体流动池耦接至其他组件的耦接点。

14.一种用于获得关于气体分析物的数据的方法，所述方法包括：

提供来自气相色谱柱的所述分析物；

向气体流动池提供所述分析物；

将VUV波长或更小的光经过所述气体流动池；

通过使用光学耦接于所述气体流动池的光学输出的光谱仪，检测所述分析物对VUV波长的光的吸收；

获得表示所述分析物的吸收量的三维数据集，所述分析物的吸收量作为波长和时间的函数；以及

分析所述三维数据集以确定所述分析物的身份和量。

15.根据权利要求14所述的方法，还包括结合所述分析物向所述气体流动池提供补充气体流。

16.根据权利要求15所述的方法，还包括改变所述补充气体流的流速。

17.根据权利要求15所述的方法，还包括以不影响所述分析物的吸收检测的方式以提高从所述气相色谱柱提供的所述分析物的时间分辨率的方式改变所述补充气体流的流速。

18.根据权利要求15所述的方法，还包括在检测期间，以确保基本上所有的分析物分子存在于所述气体流动池中的方式改变所述补充气体流的流速。

19.根据权利要求15所述的方法，还包括以提高吸收测定的方式改变所述补充气体流的流速。