[发明专利]用于聚焦激光的方法和设备

权利要求书

1.一种用于聚焦激光(1)到工作平面(5)中的方法，其中，通过偏转镜(2)将激光(1)偏转成，使得激光基本上平行于逆向反射器装置的光轴(O)传播并且穿过柱面透镜装置(3)的第一透射区段(32)并且随后被逆向反射器装置这样反射回，使得激光(1)穿过柱面透镜装置(3)的与第一透射区段(32)不同的第二透射区段(33)并且聚焦于工作平面(5)中,该柱面透镜装置(3)具有第一柱面透镜区段(30)和第二柱面透镜区段(31)，第一透射区段(32)通过第一柱面透镜区段(30)的和第二柱面透镜区段(31)的部分区域构成，并且第二透射区段(33)通过第一柱面透镜区段(30)的和第二柱面透镜区段(31)的部分区域构成，第一柱面透镜区段(30)的和第二柱面透镜区段(31)的透镜顶点(S1、S2)具有偏差(d)。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，将逆向反射器装置的顶点线(42、62)和/或柱面透镜装置(3)的透镜顶点(S1、S2)在光路中移动成，使得能调节激光(1)输入光束的角度和/或激光(1)输出光束的角度。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，使用倒转棱镜(4)作为逆向反射器装置。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，使用倒像镜(6)作为逆向反射器装置(4)。

5.一种用于聚焦激光(1)到工作平面中的设备，包括：

－偏转镜(2)；

－柱面透镜装置(3)，该柱面透镜装置具有第一透射区段(32)和不同于第一透射区段(32)的第二透射区段(33)，该柱面透镜装置(3)具有第一柱面透镜区段(30)和第二柱面透镜区段(31)，第一透射区段(32)通过第一柱面透镜区段(30)的和第二柱面透镜区段(31)的部分区域构成，并且第二透射区段(33)通过第一柱面透镜区段(30)的和第二柱面透镜区段(31)的部分区域构成，第一柱面透镜区段(30)的和第二柱面透镜区段(31)的透镜顶点(S1、S2)具有偏差(d)；以及

－逆向反射器装置，该逆向反射器装置具有光轴(O)，

－所述偏转镜(2)在设备的光路中设置成，使得该偏转镜能在设备运行期间这样偏转激光(1)，以致激光能基本上平行于逆向反射器装置的光轴(O)传播并且能穿过柱面透镜装置(3)的第一透射区段(32)并且随后能被逆向反射器装置这样反射回，使得激光(1)能穿过柱面透镜装置(3)的第二透射区段(33)并且聚焦到工作平面(5)中。

6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述逆向反射器装置构造为具有第一光偏转面(40)和第二光偏转面(41)的倒转棱镜(4)。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，在倒转棱镜(4)的第一光偏转面(40)和第二光偏转面(41)之间构成顶点线(42)并且所述设备具有用于移动顶点线(42)的装置。

8.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述逆向反射器装置构造为具有第一镜面(60)和第二镜面(61)的倒像镜(6)。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，在倒像镜(6)的第一镜面(60)和第二镜面(61)之间构成顶点线(62)并且所述设备具有用于移动顶点线(62)的装置。

10.根据权利要求5至9中任一项所述的设备，其特征在于，所述设备具有用于移动柱面透镜装置(3)的透镜顶点(S1、S2)的装置。