[发明专利]单晶三轴磁场传感器

权利要求书

1.一种磁力计，包括：

基板，其具有第一表面；

第一多个凸块，其设置在所述基板的第一表面上，每个凸块包括相对于所述基板的第一表面的第一和第二倾斜表面；

第一惠斯通电桥电路，其横跨所述第一多个凸块的第一倾斜表面设置；和

第二惠斯通电桥电路，其横跨所述第一多个凸块的第二倾斜表面设置，

其中，所述第一多个凸块中的各凸块与相同的第一轴线对齐。

2.根据权利要求1所述的磁力计，还包括：

第二多个凸块，其设置在所述基板的第一表面上，每个凸块包括相对于所述基板的第一表面的第一和第二倾斜表面；

第三惠斯通电桥电路，其横跨所述第二多个凸块的第一倾斜表面设置；和

第四惠斯通电桥电路，其横跨所述第二多个凸块的第二倾斜表面设置，

其中，所述第二多个凸块中的各凸块与相同的第二轴线对齐，并且

所述第二轴线垂直于所述第一轴线。

3.根据权利要求1所述的磁力计，其中，所述第一和第二惠斯通电桥电路中的每一个包括多个各向异性磁阻(AMR)部件。

4.根据权利要求3所述的磁力计，其中，所述第一多个凸块中的每个凸块包括来自对应的第一倾斜表面上的第一惠斯通电桥电路的AMR部件和来自对应的第二倾斜表面上的第二惠斯通电桥电路的AMR部件。

5.根据权利要求2所述的磁力计，其中，所述第三和第四惠斯通电桥电路中的每一个包括多个各向异性磁阻(AMR)部件。

6.根据权利要求5所述的磁力计，其中，所述第二多个凸块中的每个凸块包括来自对应的第一倾斜表面上的第三惠斯通电桥电路的AMR部件和来自对应的第二倾斜表面上的第四惠斯通电桥电路的AMR部件。

7.根据权利要求1所述的磁力计，其中，所述第一多个凸块的第一和第二倾斜表面相对于所述基板的第一表面处于相同的第一角度。

8.根据权利要求2所述的磁力计，其中，所述第二多个凸块的第一和第二倾斜表面相对于所述基板的第一表面处于相同的第二角度。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的磁力计，其中，每个凸块包括梯形横截面。

10.根据权利要求1-8中任一项所述的磁力计，其中，每个凸块包括三角形横截面。

11.根据权利要求1所述的磁力计，其中：

所述第一多个凸块的第一和第二倾斜表面相对于所述基板的第一表面处于相同的第一角度，

所述第二多个凸块的第一和第二倾斜表面相对于所述基板的第一表面处于相同的第二角度，并且

所述第一和第二角度是相同的。

12.根据权利要求1所述的磁力计，还包括：

设置在所述基板的第一表面上沿垂直于所述第一轴线的轴线定向的平面惠斯通电桥电路。

13.一种三轴磁力计，包括：

基板，其具有第一表面；

第一惠斯通电桥电路，其设置在所述基板上，其中所述第一惠斯通电桥电路包括第一多个各向异性磁阻(AMR)部件，所述第一多个AMR部件中的每一个相对于所述第一表面以第一角度设置；

第二惠斯通电桥电路，其设置在所述基板上，其中所述第二惠斯通电桥电路包括第二多个AMR部件，所述第二多个AMR部件中的每一个相对于所述第一表面以第二角度设置；和

第三惠斯通电桥电路，其设置在所述基板的第一表面上，

其中所述第一和第二角度彼此相等且对称。

14.根据权利要求13所述的三轴磁力计，还包括：

第一多个凸块，其设置在所述基板的第一表面上，每个凸块包括相对于所述基板的第一表面分别以第一和第二角度设置的第一和第二倾斜表面；

第一惠斯通电桥电路的AMR部件横跨所述第一多个凸块的第一倾斜表面设置，

第二惠斯通电桥电路的AMR部件横跨所述第一多个凸块的第二倾斜表面设置，

所述第一多个凸块中的各凸块与相同的第一轴线对齐，并且

所述第三惠斯通电桥与垂直于所述第一轴线的第二轴线对齐。