[发明专利]微波处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及微波处理装置，其利用周期结构体形成有用于传送基于微波的表面波的表面波传送线路。

背景技术

以往，这种微波处理装置具有如下结构：其具备同轴线缆和周期结构体，所述同轴线缆供给微波能量，所述周期结构体从同轴线缆被供给微波能量，并且形成有交叉指型带线路(例如，专利文献1)。专利文献1的微波处理装置在交叉指型带线路的终端设置有谐振孔。在这样的结构中，一边利用在交叉指型带线路产生的微波而使被加热物呈现烤焦色，一边通过来自谐振孔的微波加热而对被加热物均匀地进行加热。

此外，作为另一微波处理装置具有如下结构：在由周期结构体形成的交叉指型带线路上放射并传送微波(例如，参照专利文献2)。通过在交叉指型带线路上放射并传送微波，从而高效率地对有厚度的被加热物进行微波加热。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭61-237393号公报

专利文献2：日本特公平4-61476号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在上述以往这样的结构中，在将微波电力从同轴线缆等传递部传递到形成交叉指型带线路等表面波传送线路的周期结构体时，要求更高效率地将微波电力传递到周期结构体。

本发明用于解决上述以往的课题，其目的在于提供一种微波处理装置，能够将微波电力高效率地传递到形成表面波传送线路的周期结构体。

用于解决课题的手段

为了解决上述以往的课题，本发明的微波处理装置具备：周期结构体，其形成有传送基于微波的表面波的表面波传送线路；振荡部，其产生微波电力；和传递部，其将由振荡部产生的微波电力传递至周期结构体，在周期结构体与传递部的连接部分设置有匹配部，匹配部的阻抗被设定在周期结构体的阻抗与传递部的阻抗之间。

发明效果

本发明的微波处理装置能够将微波电力高效率地传递到形成表面波传送线路的周期结构体。

附图说明

根据关于附图的与优选实施方式关联的如下说明可知本发明的这些方式和特征。

图1是本发明的实施方式一的微波处理装置的概略剖视图。

图2是实施方式一的微波处理装置的周期结构体的仰视图。

图3是实施方式一的微波处理装置的剖视图。

图4是实施方式一的变形例1的微波处理装置的匹配电路的仰视图。

图5是实施方式一的变形例1的微波处理装置的匹配电路的剖视图。

图6是实施方式一的变形例2的微波处理装置的匹配电路的剖视图。

图7是本发明的实施方式二的微波处理装置的剖视图。

图8是实施方式二的微波处理装置的周期结构体的立体图。

具体实施方式

第一方面的发明是一种微波处理装置，所述微波处理装置具备：周期结构体，其形成有传送基于微波的表面波的表面波传送线路；振荡部，其产生微波电力；和传递部，其将由振荡部产生的微波电力传递至周期结构体，在周期结构体与传递部的连接部分设置有匹配部，匹配部的阻抗被设定在周期结构体的阻抗与传递部的阻抗之间。由此，通过利用匹配部取得传递部与周期结构体的阻抗的匹配，能够减少在传递部与周期结构体的连接部分产生的微波的反射，因此能够将微波电力从传递部高效率地传递到周期结构体。

第二方面的发明如下：特别是，第一方面的发明的匹配部形成以周期结构体的至少一部分作为接地面的微带线路。由此，能够将匹配部构成得更简单且小型。

第三方面的发明如下：特别是，第一方面的发明的匹配部具有阻抗的变化部分，变化部分被配置成：在该变化部分产生的微波的反射波将在周期结构体与匹配部的连接部分产生的微波的反射波至少部分地抵销。由此，通过将在传递部与周期结构体的连接部分产生的微波的反射抵销，能够将微波从传递部高效率地传递到周期结构体。

第四方面的发明如下：特别是，第三方面的发明的匹配部的阻抗的变化部分以使匹配部的形状变化的方式形成。由此，能够将微波从传递部高效率地传递到周期结构体。

第五方面的发明如下：特别是，第三方面的发明的匹配部以周期结构体的至少一部分作为接地面而形成具有电介质的微带线路，匹配部的阻抗的变化部分通过在微带线路的电介质存在介电常数的变化部分而形成。由此，能够将微波从传递部高效率地传递到周期结构体。