[发明专利]光学泵浦垂直外腔表面发射激光设备

权利要求书

1.一种光学泵浦垂直外腔表面发射激光设备，包括至少一个垂直外腔表面发射激光器（200）和若干泵浦激光二极管（300），

所述垂直外腔表面发射激光器（200）包括

- 叠层，其至少形成垂直外腔表面发射激光器（200）的第一端镜（107，105）和有源区（108），以及

- 第二端镜（410），其形成垂直外腔表面发射激光器（200）的外腔，

所述泵浦激光二极管（300）被布置成通过在镜元件（400）处反射泵浦辐射（310）而光学地泵浦所述有源区（108），

其中所述镜元件（400）布置在垂直外腔表面发射激光器（200）的光轴（210）上，并且被设计成将所述泵浦辐射（310）聚集在有源区（108）中并且同时形成垂直外腔表面发射激光器（200）的第二端镜（410），其中泵浦激光二极管（300）被布置成朝镜元件（400）定向基本上平行于光轴（210）的泵浦辐射，使得泵浦激光二极管（300）提供的泵浦光斑自动地与垂直外腔表面发射激光器（200）的光模对准。

2.依照权利要求1的设备，

其中所述泵浦激光二极管（300）为垂直腔表面发射激光器。

3.依照权利要求1或2的设备，

其中所述泵浦激光二极管（300）在第一芯片上形成，并且垂直外腔表面发射激光器（200）的所述叠层在第二芯片上形成，所述第一和第二芯片安装在公共基板或者散热器（501）上。

4.依照权利要求2的设备，

其中所述垂直腔表面发射激光器以及垂直外腔表面发射激光器（200）的所述叠层在相同芯片上形成。

5.依照权利要求4的设备，

其中所述垂直腔表面发射激光器以及垂直外腔表面发射激光器（200）的所述叠层起源于芯片上的相同层序列（100，103-109）。

6.依照权利要求5的设备，

其中所述层序列（100，103-109）包括形成垂直腔表面发射激光器的层结构的第一层序列（103-106）以及形成垂直外腔表面发射激光器（200）的叠层的层结构的第二层序列（107-109），所述第一和第二层序列通过蚀刻停止层（100）分离。

7.依照权利要求1的设备，

其中所述镜元件（400）包括形成所述第二端镜的中心区（410）以及被设计成将所述泵浦辐射（310）反射和聚集到垂直外腔表面发射激光器（200）的有源区（108）中的外部区（420，421）。

8.依照权利要求7的设备，

其中所述中心区和所述外部区以不同的曲率形成。

9.依照权利要求1的设备，

其中所述镜元件（400）的所述外部区（420，421）被设计成在垂直外腔表面发射激光器（200）的有源区（108）中生成泵浦辐射（310）的强度分布，所述强度分布与垂直外腔表面发射激光器（200）的激光模式匹配。

10.依照权利要求1的设备，

其中所述镜元件（400）的所述中心区（410）被设计成在垂直外腔表面发射激光器（200）中生成不具有高斯强度剖面的激光模式。

11.依照权利要求1的设备，

其中所述镜元件（400）的主体由对于垂直外腔表面发射激光器（200）的激光辐射光学透明的材料制成。

12.依照权利要求1的设备，

其中所述泵浦激光二极管（300）被布置成朝所述镜元件（400）发射基本上平行于垂直外腔表面发射激光器（200）的光轴（210）的所述泵浦辐射（310）。